CVD TAC облога за обложување

Подлогата на ротација на облогата TAC игра клучна улога во процесите на таложење на висока температура, како што се CVD и MBE, и е важна компонента за обработка на нафта во производството на полупроводници. Меѓу нив,TAC облогаима одлична отпорност на висока температура, отпорност на корозија и хемиска стабилност, што обезбедува висока прецизност и висок квалитет за време на обработката на нафта.

CVD TAC Crucible Crucible обично се состои од TAC облога играфитподлога. Меѓу нив, TAC е керамички материјал со голема точка на топење со точка на топење до 3880 ° C. Има екстремно висока цврстина (цврстина на Викерс до 2000 HV), отпорност на хемиска корозија и силна отпорност на оксидација. Затоа, TAC облогата е одличен материјал отпорен на висока температура во технологијата за обработка на полупроводници.

Подлогата на графит има добра топлинска спроводливост (термичката спроводливост е околу 21 w/m · k) и одлична механичка стабилност. Оваа карактеристика одредува дека графитот станува идеален облогаподлога.

CVD TAC Crucible Crucible главно се користи во следните технологии за обработка на полупроводници:

Производство на нафта: Vetek полупроводнички CVD TAC облога Crucible има одлична отпорност на висока температура (точка на топење до 3880 ° C) и отпорност на корозија, така што често се користи во клучните процеси на производство на нафора, како што се таложење на пареа на висока температура (CVD) и епитаксијален раст. Во комбинација со одличната структурна стабилност на производот во ултра-високи температурни околини, гарантира дека опремата може да работи стабилно долго време под екстремно груби услови, со што ефикасно ја подобрува ефикасноста на производството и квалитетот на нафорите.

Епитаксичен процес на раст: Во епитаксијални процеси како што сеДепонирање на хемиска пареа (CVD)и епитаксијата на молекуларниот зрак (MBE), CVD TAC Crucible Crucible игра клучна улога во носењето. Неговата TAC облога не само што може да ја задржи високата чистота на материјалот под екстремна температура и корозивна атмосфера, туку и ефикасно да го спречи загадувањето на реактантите на материјалот и корозијата на реакторот, обезбедувајќи точноста на процесот на производство и конзистентноста на производот.

Бидејќи водечкиот производител и водач на CVD TAC CVD TAC, Vetek Semiconductor може да обезбеди кориснички производи и технички услуги според вашата опрема и барања за процеси. Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Обложување на танталум карбид (TAC) на микроскопски пресек：

Физички својства на облогата TAC：

Тоа полупроводник Продавници за садови за обложување на CVD TAC ：