MOCVD SiC обложен суцептор

Технички параметри

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

Дефиниција и состав на производот

VETEK MOCVD SiC обложениот сусцептор е премиум компонента за носење нафора, дизајнирана специјално за епитаксијална обработка на полупроводници од трета генерација, како што се GaN и SiC. Овој производ ги интегрира супериорните физички својства на два материјали со високи перформанси:

Графитна подлога со висока чистота: Произведен со употреба на технологија за изостатско пресување за да се осигура дека основниот материјал поседува исклучителен структурен интегритет, висока густина и стабилност на термичка обработка.

CVD SiC облога: Густиот заштитен слој од силициум карбид (SiC) без стрес се одгледува на површината на графитот преку напредна технологија за хемиско таложење на пареа (CVD).

Зошто ВЕТЕК е вашата гаранција за принос

Крајна прецизност во контролата на топлинската униформност: За разлика од конвенционалните носачи, сензорите VETEK постигнуваат високо синхронизиран пренос на топлина низ целата површина преку прецизна контрола на дебелината на облогата и топлинската отпорност во нанометарска скала. Ова софистицирано термичко управување ефикасно го минимизира стандардното отстапување на брановата должина (STD) на површината на обландата, значително зголемувајќи го квалитетот на единечната обланда и целокупната конзистентност на серијата.

Долгорочна заштита со нулта контаминација со честички: Во комори за реакција MOCVD кои содржат висококорозивни гасови, обичните графитни постаменти се склони кон лупење на честички. CVD SiC облогата на VETEK поседува исклучителна хемиска инертност, делувајќи како непробоен штит што ги запечатува графитните микропори. Ова обезбедува целосна изолација на нечистотиите на подлогата, спречувајќи секаква контаминација на епитаксијалните слоеви GaN или SiC.

Исклучителна отпорност на замор и работен век:Благодарение на неслободниот процес на обработка на интерфејсот на VETEK, нашата облога SiC постигнува оптимизирано совпаѓање со термичка експанзија со графитната подлога. Дури и при високофреквентен термички циклус помеѓу екстремни температури, облогата одржува супериорна адхезија без лупење или развој на микро-пукнатини. Ова значително ја намалува зачестеноста на одржување на резервниот дел и ги намалува вкупните трошоци за сопственост.

Нашата работилница