Графитен прстен обложен со порозен тантал карбид (TaC).

Карактеристики на производот

• Основна опрема:Наменет за SiC печки за раст со еднокристал кои работат со PVT технологија.
• Примарна апликација:Погоден за системи со термално поле со раст на полупроводнички SiC кристали од трета генерација.
• Стабилност на висока температура:Облогата TaC го задржува структурниот интегритет при ултра високи температури, поддржувајќи продолжено работење во тешки топлински средини.
• Заштита од корозија:Густиот CVD TaC слој ја штити графитната подлога од силициумска пареа, гасови кои содржат јаглерод и други корозивни видови кои се среќаваат за време на растот на SiC.
• Перформанси на топлинско поле:Порозната графитна основа помага во дистрибуција на топлина и транспорт на пареа, што помага во одржување на стабилни услови за раст.
• Ниска контаминација:Почетните материјали со висока чистота и густата обвивка го ограничуваат ослободувањето на нечистотијата и фрлањето на честички, придобивајќи го квалитетот на кристалот.
• Продолжен животен век:Слојот TaC ја подобрува отпорноста на оксидација, тврдоста на површината и целокупната издржливост при покачени температури.
• Адхезија на облогата:Процесот на CVD дава силна врска помеѓу TaC филмот и графитната подлога.
• Прилагодени опции:Димензиите, структурните детали и спецификациите на облогата може да се прилагодат за да одговараат на различните барања на печката за раст на SiC.

Технички спецификации

Апликации

Графитниот прстен со порозен TaC обложен VETEK првенствено се користи во:

• Растење на еднокристално SiC преку PVT
• Производство на полупроводници од трета генерација
• Производство на подлога од SiC
• Системи за термичко поле во печки за раст на кристали
• Полупроводничка обработка со висока температура
• Напредни графитни компоненти за топла зона

Најчесто поставувани прашања

1. Што е порозен TaC обложен графит прстен?

Тоа е компонента на топлинско поле за печки за раст на SiC кристали. Комбинира порозна графитна структура со CVD TaC слој за да обезбеди термичко управување и заштита од корозија на висока температура.

2. Зошто да користите TaC облога за раст на SiC кристалите?

TaC обезбедува стабилност на висока температура и хемиска отпорност. Го штити графитот од напад на силиконска пареа и помага да се одржи чиста, стабилна средина за раст.

3. Што нуди порозната графитна структура?

Порозниот дизајн поддржува термичка дистрибуција и транспорт на гас во печката, што придонесува за стабилни услови за раст на кристалите на SiC.

4. Дали VETEK може да произведе прилагодени графитни прстени обложени со TaC?

Да. VETEK нуди прилагодување врз основа на цртежите на клиентите, дизајните на печките и потребите на процесот, вклучувајќи ги димензиите, конфигурацијата на подлогата и параметрите на облогата.