Епи рецептор обложен со SiC

Може да бидете сигурни да купите SIC обложена епи -суксетор од нашата фабрика.

Тоа полупроводникSiC Coated Epi Susceptor is Epitaxial барел е специјална алатка за процесот на полупроводнички епитаксијален раст со многу предности:

● Ефикасен производствен капацитет: SIC SIC на Vetek Semic Epi SIC може да смести повеќе нафора, што овозможува да се изврши епитаксичен раст на повеќе нафора истовремено. Овој ефикасен производствен капацитет може во голема мерка да ја подобри ефикасноста на производството и да ги намали циклусите на производство и трошоците.

● Оптимизирана контрола на температурата: SiC Coated Epi Susceptor е опремен со напреден систем за контрола на температурата за прецизно контролирање и одржување на саканата температура на раст. Стабилната контрола на температурата помага да се постигне униформен раст на епитаксијалниот слој и да се подобри квалитетот и конзистентноста на епитаксијалниот слој.

● униформа дистрибуција на атмосфера: SIC обложениот епи на епизодитор обезбедува униформа дистрибуција на атмосфера за време на растот, осигурувајќи дека секоја нафта е изложена на исти услови на атмосфера. Ова помага да се избегнат разликите во растот помеѓу нафорите и ја подобрува униформноста на епитаксичниот слој.

● Ефективна контрола на нечистотијата: Дизајнот на Epi Susceptor обложен со SiC помага да се намали внесувањето и дифузијата на нечистотии. Може да обезбеди добро запечатување и контрола на атмосферата, да го намали влијанието на нечистотиите врз квалитетот на епитаксијалниот слој и со тоа да ги подобри перформансите и доверливоста на уредот.

● Флексибилен развој на процесот: Epi Susceptor има флексибилни способности за развој на процеси кои овозможуваат брзо прилагодување и оптимизација на параметрите за раст. Ова им овозможува на истражувачите и инженерите да спроведат брз развој и оптимизација на процесите за да ги задоволат потребите за епитаксијален раст на различни апликации и барања.