Веб мени

Пребарување производ

Јазик

Производи
Поддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPI
  • Поддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPIПоддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPI
  • Поддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPIПоддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPI
  • Поддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPIПоддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPI

Поддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPI

Епитаксијалната подлога за загревање на нафора од типот на буре е производ со комплицирана технологија на обработка, што е многу предизвикувачки за опремата и способноста за обработка. Полупроводникот Ветек има напредна опрема и богато искуство во обработка на сенцептор за буре од графит обложен со SiC за EPI, може да го обезбеди истото како и оригиналниот фабрички век, поекономични епитаксијални буриња. Ако сте заинтересирани за нашите податоци, ве молиме не двоумете се да не контактирате.
Испрати барање
Опис на производот

Vetek Semiconductor е кинески производител и снабдувач кој главно произведува SIC обложен графит барел подложен за ЕПИ со долгогодишно искуство. Се надевам дека ќе градам деловни односи со вас.И (епитакси)е критичен процес во производството на напредни полупроводници. Вклучува таложење на тенки слоеви на материјал на подлогата за да се создадат сложени структури на уредот. SIC обложен графит барел, подложни на ЕПИ, најчесто се користат како подложни во реакторите ЕПИ заради нивната одлична топлинска спроводливост и отпорност на високи температури. СоCVD-SiC облога, станува се поотпорен на загадување, ерозија и термички шок. Ова резултира во подолг животен век за подложникот и подобрен квалитет на филмот.


Предности на нашиот SIC обложен графит барел суксетор:


✔ Намалена загадување: Инертната природа на Sic спречува нечистотиите да се придржуваат кон површината на подложникот, намалувајќи го ризикот од загадување на депонираните филмови.

✔ Зголемена отпорност на ерозија: SIC е значително поотпорен на ерозија од конвенционалниот графит, што доведува до подолг животен век на подложникот.

✔ Подобрена термичка стабилност: SIC има одлична топлинска спроводливост и може да издржи високи температури без значително нарушување.

✔ Подобрен квалитет на филмот: Подобрената термичка стабилност и намалената контаминација резултираат со поквалитетни депонирани филмови со подобрена униформност и контрола на дебелината.


Апликации:

Подлошките за буре од графит обложени со SiC се широко користени во различни EPI апликации, вклучувајќи:

✔ LED диоди со седиште во Ган

✔ Електроника за напојување

✔ Оптоелектронски уреди

✔ Високофреквентни транзистори

✔ сензори

Параметар на производот на SiC обложениот графит за барел сусцептор

Физички својства наИзостатски графит
Својство Единица Типична вредност
Густина на најголемиот дел g/cm³ 1.83
Цврстина HSD 58
Електрична отпорност μΩ.m 10
Јачина на свиткување МПА 47
Јачина на притисок МПА 103
Сила на затегнување МПА 31
Модулот на Јанг Успех 11.8
Термичка експанзија (CTE) 10-6K-1 4.6
Топлинска спроводливост W · m-1· К.-1 130
Просечна големина на жито μm 8-10
Порозност % 10
Содржина на пепел ppm ≤10 (по прочистување)

        Белешка: Пред облогата, ќе направиме прво прочистување, по облогата, ќе направиме второ прочистување.

Основни физички својства на CVD SiC облогата

Основни физички својства на CVD SIC облогата
Својство Типична вредност
Кристална структура FCC β фаза поликристален, главно (111) ориентиран
Густина на облогата на SiC 3,21 g/cm³
CVD SIC цврстина на обложување 2500 Викерс цврстина （500g оптоварување）
Големина на жито 2 ~ 10 μm
Хемиска чистота 99,99995%
Топлински капацитет 640 J · kg-1· К.-1
Температура на сублимација 2700
Јачина на свиткување 415 MPa RT 4-точка
Млади модул 430 GPa 4pt Bend, 1300 ℃
Топлинска спроводливост 300 W · m-1· К.-1
Термичка експанзија (CTE) 4,5×10-6K-1

Полупроводник VeTekSIC обложен графит барел суксетор за ЕПИПроизводство продавница

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Жешки тагови: Поддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPI
Поврзана категорија
Испрати барање
Контакт Инфо

  • Адреса

    Вангда патот, улицата Зијанг, округот Вуи, градот Jinинхуа, провинцијата hejеџијанг, Кина

  • тел/

    +86-18069220752

  • Е-пошта

    anny@veteksemi.com

За прашања во врска со облогата со силикон карбид, облогата со тантал карбид, специјалниот графит или ценовникот, ве молиме оставете ни ја вашата е-пошта и ние ќе стапиме во контакт во рок од 24 часа.
Поврзани производи
Подлога за буриња обложена со SiC за LPE PE2061S
Подлога за буриња обложена со SiC за LPE PE2061S Гледај Повеќе >>
Горна плоча обложена со SiC за LPE PE2061S
Горна плоча обложена со SiC за LPE PE2061S Гледај Повеќе >>
SIC обложена поддршка за LPE PE2061S
SIC обложена поддршка за LPE PE2061S Гледај Повеќе >>
SIC обложена палачинка подложни за LPE PE3061S 6 '' нафора
SIC обложена палачинка подложни за LPE PE3061S 6 '' нафора Гледај Повеќе >>
Дефлектор на распрскувач со графит обложен со SiC
Дефлектор на распрскувач со графит обложен со SiC Гледај Повеќе >>
Комплет рецептори LPE SI EPI
Комплет рецептори LPE SI EPI Гледај Повеќе >>
Вести Препораки
Зошто облогата SiC добива толку големо внимание? - Полупроводник VeTek
Зошто облогата SiC добива толку големо внимание? - Полупроводник VeTekГледај Повеќе >>
Што е графит брод PECVD?
Што е графит брод PECVD?Гледај Повеќе >>
Зошто не успева графитниот сусцептор обложен со SiC? - Полупроводник VeTek
Зошто не успева графитниот сусцептор обложен со SiC? - Полупроводник VeTekГледај Повеќе >>
Комплетно објаснување за процесот на производство на чипови (1/2): од нафта до пакување и тестирање
Комплетно објаснување за процесот на производство на чипови (1/2): од нафта до пакување и тестирањеГледај Повеќе >>
Нафора за полупроводничка подлога: Материјални својства на силициум, GaAs, SiC и GaN
Нафора за полупроводничка подлога: Материјални својства на силициум, GaAs, SiC и GaNГледај Повеќе >>
Што е епитаксијален раст контролиран со чекор?
Што е епитаксијален раст контролиран со чекор?Гледај Повеќе >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept