Епитаксијална реакторска комора обложена со SiC

Општи информации за производот

Деловни услови за производи

Апликација: Комората на епитаксијален реактор обложена со Veteksemicon SiC е дизајнирана за тешки полупроводнички епитаксијални процеси. Со обезбедување на исклучително чиста и стабилна средина со висока температура, значително го подобрува квалитетот на епитаксиалните наполитанки SiC и GaN, што го прави клучен камен-темелник за производство на чипови со моќност и RF уреди со високи перформанси.

Услуги кои можат да се обезбедат: анализа на сценарио за апликација на клиентите, материјали за совпаѓање, решавање технички проблеми.

Профил на компанијата：Veteksemicon има 2 лаборатории, тим од експерти со 20-годишно материјално искуство, со можности за истражување и развој и производство, тестирање и верификација.

Предности на јадрото на комората на епитаксијална реакторска обложена Veteksemicon SiC

1. Супер отпорност на корозија

Реакционата комора на Veteksemicon користи сопствен CVD процес за депонирање на екстремно густа, висока чистота обвивка од силициум карбид на површината на подлогата. Оваа обвивка ефикасно се спротивставува на ерозијата на високотемпературните корозивни гасови како што се HCl и H2, кои вообичаено се среќаваат при епитаксијалните процеси на SiC, фундаментално решавајќи ги проблемите со порозноста на површината и осипувањето на честичките што може да се појават кај традиционалните графитни компоненти по долготрајна употреба. Оваа карактеристика осигурува внатрешниот ѕид на комората за реакција да остане мазен дури и по стотици часа континуирано работење, значително намалувајќи ги дефектите на нафората предизвикани од контаминација на комората.

2. Стабилност на висока температура

Благодарение на одличните термички својства на силициум карбид, оваа комора за реакција лесно може да издржи постојани работни температури до 1600°C. Неговиот екстремно низок коефициент на термичка експанзија гарантира дека компонентите го минимизираат акумулирањето на топлинскиот стрес при постојано брзо загревање и ладење, спречувајќи микропукнатини или структурни оштетувања предизвикани од термички замор. Оваа извонредна термичка стабилност обезбедува клучен процесен прозорец и гаранција за доверливост за епитаксијалните процеси, особено SiC хомоепитаксијата која бара средини со висока температура.

3. Висока чистота и ниско загадување

Ние сме многу свесни за одлучувачкото влијание на квалитетот на епитаксијалниот слој врз конечните перформанси на уредот. Затоа, Veteksemicon ја следи најголемата можна чистота на облогата, обезбедувајќи таа да достигне ниво од над 99,9995%. Таквата висока чистота ефикасно ја потиснува миграцијата на металните нечистотии (како што се Fe, Cr, Ni, итн.) во атмосферата на процесот на високи температури, со што се избегнува фаталното влијание на овие нечистотии врз квалитетот на кристалот на епитаксијалниот слој. Ова поставува цврста материјална основа за производство на моќни полупроводници со високи перформанси и висока доверливост и уреди за радиофреквенција.

4. Дизајн со долг живот

Во споредба со необложени или конвенционални графитни компоненти, реакционите комори заштитени со SiC облоги нудат неколку пати подолг работен век. Ова првенствено се должи на сеопфатната заштита на подлогата на облогата, спречувајќи директен контакт со корозивни процесни гасови. Овој продолжен животен век директно се преведува во значителни придобивки од трошоците - клиентите можат значително да го намалат времето на прекин на опремата, набавката на резервни делови и трошоците за работна сила за одржување поврзани со периодичната замена на компонентите на комората, со што ефективно ќе ги намалат вкупните оперативни трошоци за производство.

5. Одобрување за верификација на еколошки синџир

Верификацијата на еколошкиот синџир на комората со епитаксиален реактор со обложена Veteksemicon SiC ги опфаќа суровините до производството, има положено сертификација за меѓународни стандарди и има голем број патентирани технологии за да се обезбеди неговата доверливост и одржливост во полињата на полупроводниците и новите енергетски полиња.

За детални технички спецификации, бели документи или аранжмани за тестирање примероци, ве молиме контактирајте го нашиот тим за техничка поддршка за да истражите како Veteksemicon може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.