TAC Посебна ротација на облогата на облогата

ВЕТЕК Полупроводник TAC Ротација на облогата Подлогата е клучна компонента за ракување со нафта при обработка на полупроводници. Тоа еТак штоНашиотИма одлична толеранција на висока температура (точка на топење до 3880 ° C), хемиска стабилност и отпорност на корозија, кои обезбедуваат висока прецизност и висок квалитет во обработката на нафта.

Подлогата на ротација на облогата TAC (ротација на обложување на јаглерод Танталум) е клучна компонента на опрема што се користи во обработката на полупроводници. Обично се инсталира воДепонирање на хемиска пареа (CVD)и опрема за епитакси на молекуларен зрак (MBE) за поддршка и ротирање на нафора за да се обезбеди униформа таложење на материјалот и ефикасна реакција. Овој вид на производ значително го подобрува животниот век на услугата и перформансите на опремата во висока температура и корозивни средини со обложување на подлогата соОбвивка од јаглерод Танталум (TAC).

Подлогата на ротација на облогата TAC обично е составен од TAC облога и графит или силиконски карбид како материјал на подлогата. TAC е ултра-висока температурна керамички материјал со екстремно висока точка на топење (точка на топење до 3880 ° C), цврстина (тврдоста на Викерс е околу 2000 HK) и одлична отпорност на хемиска корозија. Полупроводникот на Vetek може ефикасно и рамномерно да ја покрие облогата на јаглеродот Танталум на материјалот на подлогата преку CVD технологијата.

Обично, суксеторот на ротација обично се прави од висока термичка спроводливост и материјали со голема јачина (графит илиСиликон карбид), што може да обезбеди добра механичка поддршка и термичка стабилност во околини со висока температура. Совршената комбинација на двајцата ја одредува совршената изведба на подложни на ротација на TAC облогата во поддршка и ротирачки нафора.

Подлогата на ротација на облогата TAC го поддржува и ротира нафтата во процесот на CVD. Цврстината на Викерс на TAC е околу 2000 HK, што му овозможува да се спротивстави на повторено триење на материјалот и да игра добра споредна улога, со што се осигура дека реакциониот гас е рамномерно распореден на површината на нафора и материјалот е рамномерно депониран. Во исто време, толеранцијата на висока температура и отпорност на корозија на TAC облогата овозможуваат да се користи долго време во висока температура и корозивни атмосфери, што ефикасно се избегнува загадување на нафтата и носачот.

Покрај тоа, термичката спроводливост на TAC е 21 w/m · k, што има добар пренос на топлина. Затоа, ротацијата на облогата на TAC може да го загрее нафтата рамномерно во услови на висока температура и да обезбеди униформност на процесот на таложење на гас преку ротационо движење, со што се одржува конзистентноста и високиот квалитет наРаст на нафта.

Обложување на танталум карбид (TAC) на микроскопски пресек：

Физички својства на облогата TAC：

Продавници за ротација на облогата на TAC: