Силициум карбид слој

CVD SIC на Vetekemicon CVD SIC, обложена нафора, е врвно решение за епитаксијални процеси на полупроводници, нудејќи ултра-висока чистота (≤100pbb, овластен ICP-E10) и исклучителна термичка/хемиска стабилност за раст на ГАН, СИК и силикони. Инженерски со прецизна CVD технологија, поддржува 6 ”/8”/12 ”нафора, обезбедува минимален термички стрес и издржува екстремни температури до 1600 ° C.

Нашиот SIC обложена планетарна подлотор е основна компонента во процесот на висока температура на производство на полупроводници. Неговиот дизајн комбинира графит подлога со обложување на силиконски карбид за да постигне сеопфатна оптимизација на перформансите на термичкото управување, хемиската стабилност и механичката јачина.

Нашиот SIC обложен прстен за запечатување за епитакси е компонента за запечатување со високи перформанси заснована на графит или јаглерод-јаглеродни композити обложени со силиконски карбид со висока чистота (SIC) со хемиско таложење на пареата (CVD), која ја комбинира термичката стабилност на графитот со екстремната отпорност на животната средина на SIC, и е дизајниран за Semiconcial Epiitax (E.G.

Ветексемиконски единечен нафора Епи графит суксетор е дизајниран за силиконски карбид со високи перформанси (SIC), галиум нитрид (GAN) и други полупроводнички епитаксични процеси на трета генерација, и е основна компонента на лежиштето на епитаксијалниот лист со висока прецизност во масовното производство.

Важна компонента што се користи во процесот на гравирање на изработка на нафора е прстенот за фокусирање на плазма, чија функција е да се одржи нафтата за да се одржи густината на плазмата и да се спречи загадување на страните на нафора. Полупроводникот на Ветек обезбедува прстен за фокусирање на плазма со различен материјал како монокристален силикон, силикон карбид, боронски карбид и други материјали.

Vetek Semiconductor е водечки производител и снабдувач на SIC обложени е-чаршии во Кина. SIC обложен E-Chuck е специјално дизајниран за процес на гравирање на нафора на ГАН, со одлични перформанси и долг животен век, за да обезбеди целокупна поддршка за вашето производство на полупроводници. Нашата силна способност за обработка ни овозможува да ви обезбедиме SIC керамички подложник што го сакате. Се радувам на вашето распрашување.