Прстен на раб

Во областа на производството на полупроводници, прстените на работ, како основни компоненти на опремата за обработка на нафта, го револуционизираат индустрискиот пејзаж со нивните материјални својства. Вредноста на оваа прецизна компонента направена од силиконски карбид единечни кристали лежи не само во нејзината високо-технолошка содржина, туку и во значителното подобрување на приносот и оптимизацијата на оперативните трошоци што може да ги донесе кај производителите на чипови.

Структурни карактеристики на прстенот на работ

Прстените на силиконските карбидни раб се клучни компоненти што можат да се потрошат во опрема за гравирање на полупроводници и се изработени од силиконски карбидни материјали со висока чистота, подготвени со методот на хемиско таложење на пареа (CVD). Дијаметарот на неговата прстенеста структура е обично 200-450мм, а дебелината е контролирана во рамките на 5-15мм, со следниве карактеристики:

1. Толеранција на Extreme: Може да издржи високо-температурна околина од 1500 ℃

2. Стабилност во плазмата: диелектрична константа 9,7, напон на дефект 3mV/cm

3.

Пробив во процесот на производство

Современиот процес на подготовка усвојува метод во три фази:

1. Формирање на матрица: Изостатско формирање на притискање обезбедува униформа густина

2. Вршење на висока температура: третман на густина во инертен атмосфера на 2100 ℃

3. Модификација на површината: Заштитните слоеви на нано -скала се формираат преку реактивно јонско гравирање (RIE). Најновите истражувања покажуваат дека услужниот живот на силиконските карбидни рабници прстени со 3% бор е зголемен за 40%, а стапката на загадување на нафтата е намалена на ниво на 0,01ppm

Сценарија за апликации

Тоа покажува непрестајност во процесите под 5nm:

2. Едиформност на гравирање: Може да одржи отстапување на стапката на гравирање од 1,5% од работ на нафтата

3 Контрола на загадување: Го намалува загадувањето на металот за 92% во споредба со традиционалните кварцни материјали

4 циклус на одржување: Може да работи постојано за 1500 часа во плазмата CF4/O2

Ветексемион постигнаа пробив во домашното производство на прстени Sic Edge, што може да заштеди многу трошоци за трошоците. Добредојдовте да контактирате со нас во секое време!