Прстен за графит обложен со TAC

Прстенот со обложен графит TAC (Tantalum carbide) е клучна компонента што се користи во производството на полупроводници, конкретно во процеси како епитаксијално таложење и гравирање на плазма. Овие прстени се дизајнирани за безбедно да ги држат и да ги позиционираат силиконските нафора, обезбедувајќи прецизно усогласување и стабилност за време на висока температура и груби хемиски опкружувања. Нашите водечки прстени се дизајнирани да ги исполнат строгите барања на модерната измислица на полупроводници, помагајќи да се подобрат приносите на процесите и квалитетот на нафтата.

Материјален состав и физички својства

Јадрото на нашиот TAC обложен со графит Водич за графит е графитски прстен со висока чистота, кој потоа се премачкува со слој на танталум карбид (TAC).

Графит подлога:

Графитот обезбедува неколку клучни предности. Има одлична термичка стабилност, отпор на деформација на високите температури вообичаени при обработката на полупроводници. Неговата лесна природа ја минимизира термичката маса, овозможувајќи брзи циклуси на греење и ладење. Графит со висока чистота, исто така, спречува загадување на процесната комора.

CVD TAC облога:

Оставата за карбид Tantalum е клучот за супериорната изведба на прстенот. TAC е исклучително тврд керамички материјал, кој нуди исклучителна отпорност на абење и хемиска инертност. Го штити основниот графит од агресивна плазма и корозивни гасови, значително проширувајќи го животниот век на прстенот. Оваа облога исто така спречува да се пролее честичките, што е клучно за одржување на чиста процес на процесирање и спречување на дефекти на површината на нафтата.

Улогата на водечките прстени во обработката на нафтата

Нашиот TAC обложен прстен за водич игра клучна улога во обезбедувањето на квалитетот и ефикасноста на измислицата на полупроводници.

● Усогласување на нафта и стабилност: За време на епитаксијалниот раст или гравирање, прстенот за водичи го држи нафтата во прецизна позиција. Ова спречува да се менува нафтата, што е од суштинско значење за униформа таложење на слојот и точен пренесување на шемата низ целата површина на нафора.

● Термичко управување: Термичките својства на облогата на графит и танталум карбид овозможуваат ефикасна дистрибуција и управување со топлина. Ова е клучно за одржување на униформа температурен профил низ нафора, што е неопходно за постојана дебелина на филмот и материјални својства.

● Контрола на загадување: Материјалите со висока чистота и трајната TAC облога ја минимизираат генерирањето на честички и излегувањето. Ова го намалува ризикот од загадување на нафта и дефекти, што доведува до поголем принос на уредот и сигурност.

● Продолжен животен век на компонентата: Робусната облога на карбид Танталум обезбедува одличен отпор на ерозијата на плазмата и хемискиот напад. Ова го проширува оперативниот живот на прстенот за водичи, намалувајќи го времето на одржување и намалувањето на вкупната цена на сопственоста.