Грејач на обложување на TAC

Грејачот за обложување TaC е грејач со високи перформанси што широко се користи во процесите на производство на полупроводници. Неговата површина е обложена со материјал од тантал карбид (TaC), кој му дава на грејачот одлична отпорност на високи температури, отпорност на хемиска корозија и одлична топлинска спроводливост.

Главните апликации на грејачот на облогата TAC во производството на полупроводници вклучуваат:

 ✔ За време на процесот на епитаксијален раст на галиум нитрид (ГАН), грејачот на облогата TAC обезбедува прецизно контролирана околина со висока температура за да се обезбеди дека епитаксијалниот слој се депонира на подлогата со униформа стапка и висок квалитет. Неговиот стабилен излез на топлина помага да се постигне прецизна контрола на тенок филмски материјали, а со тоа подобрување на перформансите на уредот.

 ✔ Покрај тоа, во процесот на таложење на метална органска хемиска пареа (MOCVD), во комбинација со отпорност на висока температура и термичка спроводливост на облогата TAC, грејачот на облогата TAC обично се користи за загревање на реакциониот гас, а со обезбедување на униформа дистрибуција на топлина, ИТ, ИТ ја промовира својата хемиска реакција на површината на подлогата, а со тоа ја подобрува униформноста на епитаксијалниот слој и формира филм со висок квалитет.

 ✔ Како лидер во индустријата во производите на TaC Coating Heater, VeTek Semiconducto секогаш поддржува услуги за прилагодување на производите и задоволителни цени на производите. Без разлика кои се вашите специфични барања, ние ќе одговараме на најдоброто решение за вашите потреби за грејач за обложување TaC и со нетрпение ја очекуваме вашата консултација во секое време.