Плоча за поддршка на подножјето TAC облога

Vetek Semiconductor е кинески производител и снабдувач кој главно произведува CVD TAC облога на подложни, влезни прстени, нафта Чунк, држач за обложување на TAC, табличка за поддршка на подножјето за обложување TAC со долгогодишно искуство. Се надевам дека ќе градам деловни односи со вас.

Керамиката TAC има точка на топење до 3880 ℃, голема цврстина (цврстина на Mohs 9 ~ 10), голема топлинска спроводливост (22W · m^-1· К.⁻¹), голема јачина на свиткување (340 ~ 400mpa) и мал коефициент на термичка експанзија (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹), и покажете одлична термохемиска стабилност и одлични физички својства. Има добра хемиска и механичка компатибилност со композитни материјали со графит и C/C, така што TAC облогата е широко користена во термичката заштита на воздушната вселена, единечен раст на кристалот и епитаксични реактори како Aixtron, LPE EPI реактор во индустријата за полупроводници. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related epitaxial нафора. Особено е погоден за одгледување GAN или ALN единечен кристал во опрема MOCVD и SIC единечен кристал во PVT опрема, а квалитетот на единечниот кристал одгледуван е очигледно подобрен.