Носач за обланда за VEECO MOCVD (LED епитаксија)

Карактеристики на производот:

1. Графитна основа со висока чистота со густ CVD SiC слој
2. Добра термичка униформност за стабилна LED епитаксија
3. Издржува NH3, HCl и други корозивни гасови што се користат во процесот
4. Ниско испуштање честички и долг работен век
5. Џебните дизајни може да се приспособат за различни големини на нафора и платформи за реактори
6. Работи добро за долгорочна работа со MOCVD на висока температура

Апликации:
Овие носачи на нафора се широко користени во LED и сложена полупроводничка епитаксија, вклучувајќи:

• GaN LED епитаксија
• Сино-зелена ЛЕД епитаксија
• Длабоко УВ LED раст
• GaN епитаксија базирана на Si
• Производство на општо сложени полупроводници

Прилагодените решенија за носач одговараат на повеќе LED MOCVD платформи, како што се:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Технички предности:

1. CVD SiC облогатехнологија која ви дава добра густина и чистота
2. Варијацијата на дебелината на облогата се одржува во рамките на ±10 μm - помага термичките перформанси да останат стабилни
3. CNC обработка до прецизност до 3 μm за добро вклопување на нафора и стабилност на ротација
4. Облогата добро се лепи и се спротивставува на пукање по повторени MOCVD циклуси на висока температура
5. Без проблеми се справува со NH3, HCl и други сурови епитаксии
6. Ниско создавање честички и чиста површина за поддршка на високиот приносLED епитаксија
7. Може да обложи големи или сопствени големини за различни платформи на реактори и распоред на нафора
8. Долго искуство соприлагодени графит и делови обложени со SiCза LED и сложена полупроводничка епитаксија

ЧПП:
1. Што прави носачот на нафора воMOCVDLED епитаксија?

О: Ги држи и ротира наполитанките во реакторот MOCVD и помага да се задржи температурата стабилна за време на епитаксиалниот раст.

2. Зошто да користите SiC-обложени графитни носачи на нафора за MOCVD?

О: НаCVD SiC облогадава подобра отпорност на корозија, термичка стабилност и издржливост. Исто така, помага да се намали контаминацијата со честички при епитаксијата на висока температура.

3. Дали Vetek Semiconductor прави сопствени носачи на нафора?
О: Да. Можеме да дизајнираме прилагодени носачи врз основа на вашата реакторска платформа, големина на нафора, распоред на џебот и други потреби за процесот.