CVD SiC обложен графит сусцептор за носач на нафора

1. Предности на производот

• Материјал со висока чистота:Графитниот материјал од полупроводничка класа и густата структура на обложување SiC ги минимизираат ризиците од контаминација и ја подобруваат доверливоста на сензорот за графит обложен со CVD SiC.
• Одлична топлинска униформност:Оптимизираната структура на графит и облогата на SiC обезбедуваат стабилен пренос на топлина и рамномерна контрола на температурата на обландата.
• Супериорна хемиска отпорност:Густиот SiC слој нуди силна отпорност на процесни гасови и корозивни средини.
• Долг работен век:Високата цврстина и отпорноста на абење ја подобруваат издржливоста при високи температурни епитаксии.
• Ниско генерирање на честички:Густата CVD SiC површина го намалува ослободувањето на честичките и ја подобрува доверливоста на процесот на обланда.
• Прилагодена способност за дизајн:Достапно во различни големини, структури и конфигурации според барањата за опрема.

2. Технички спецификации

3. Апликации

• Процес на епитаксија на SiC:Графитниот сензор се користи како носач на нафора во опремата за епитаксија на SiC, поддржувајќи ги подлогите на SiC за време на епитаксијален раст на висока температура.
• Процес на силиконска епитаксија:Применет во силиконски епитаксијални реактори за поддршка на наполитанки и одржување стабилни термички услови.
• MOCVD епитаксија:Графитните сензори VETEK се погодни за MOCVD, LED епитаксија, епитаксии GaN, силициумски епитаксии и други процеси на производство на полупроводници кои бараат одлична топлинска униформност и хемиска стабилност.
• Опрема за производство на полупроводници:Компатибилен со различни платформи за епитаксии, вклучувајќи LPE хоризонтални печки, Aixtron, NuFlare и поврзана полупроводничка опрема.

4. Зошто да го изберете ВЕТЕК?

VETEK обезбедува прилагодени решенија за чувствителни графитни обложени CVD SiC кои интегрираат прочистување на графит, прецизна обработка, CVD обложување и можности за инспекција. Нашите производи за прицврстување на графит од полупроводничка класа се карактеризираат со висока чистота, униформа дебелина на облогата, одлични термички перформанси и долг работен век за апликации со барања за носачи на обланди.