CVD силикон карбид (SiC) обложен графит RTP RTA носач

Карактеристики на производот

· Основна опрема:Дизајниран за системи за брзо термичко жарење (RTA) и брза термичка обработка (RTP).

· Примарај Aапликација: Оптимизиран за процеси на жарење на нафора со полупроводници.

· Опeрејтинг Тетемпература:Стабилна работа од 200°C до 700°C.

· Excелент Термала униформност: Обезбедува рамномерна дистрибуција на топлина за доследна обработка на нафора.

· Ниска честичкаGенергија: Густата CVD SiC облога ја минимизира контаминацијата и го подобрува приносот на производството.

· Супериорна хемиска отпорност:Отпорен на оксидација и корозивни процесни гасови при термичка обработка.

· Извонреденg Термал Отпорност на удар: Одржува структурен интегритет преку повторени брзи циклуси на загревање и ладење.

· Долг работен век:Отпорен на абење SiC облогата значително го продолжува животниот век на компонентата и ги намалува трошоците за одржување.

· ПрилагоденоПроизводство:Достапен во различни големини и конфигурации за да одговара на различната RTP/RTA опрема.

Технички спецификации

Апликации

·Брзо термичко жарење (RTA)

· Брза термичка обработка (RTP)

· Греење на силиконски нафора

· Допантско активирање

· Оксидација

· Дифузија

·Производство на сложени полупроводници

·Изработка на MEMS

·Моќна полупроводничка обработка

Најчесто поставувани прашања

1. Што е RTP/RTA оператор?

Носачот RTP/RTA е компонента за поддршка на нафора што се користи во системите за брза термичка обработка и брзо термичко жарење. Сигурно ги држи полупроводничките наполитанки додека обезбедува рамномерен пренос на топлина во текот на термичкиот циклус.

2. Зошто се претпочита CVD SiC облогата?

Во споредба со голиот графит, CVD SiC облогата нуди супериорна отпорност на оксидација, помало создавање на честички, подобра хемиска стабилност и значително подолг работен век.

3. Дали VETEK може да обезбеди прилагодени RTP/RTA носачи?

Да. VETEK нуди прилагодени RTP/RTA носачи врз основа на цртежите на клиентите.