Непроѕирен кварцен штит и бленда со висока чистота за MOCVD

1. Технички спецификации

Обезбедуваме високопрецизна обработка врз основа на вашите технички цртежи за да обезбедиме совршено вклопување со вашите специфични модели на опрема.

2. Основни полиња за апликација

● MOCVD Процесна заштита: Служат како основни внатрешни штитови/облоги за заштита на реакциската средина.

● Полупроводничка епитаксија: Се користи како ролетни со висока прецизност за стабилизирање на протокот и температурата за време на растот на тенките слоеви.

● Производство на полупроводници со широк опсег: Компатибилен со средини со висока побарувачка за GaN и други напредни материјали.

3. Зошто да изберете VETEK Quartz Solutions?

● Супериорно управување со топлинско зрачење: Нашиот млечно бел кварц содржи висока густина на микро-меурчиња кои ефикасно го расфрлаат и блокираат топлинското зрачење со висока температура (>1000°C). Апсорбира видлива и блиска инфрацрвена светлина од грејните елементи и ја претвора во далечно инфрацрвено зрачење, обезбедувајќи високо еднообразно загревање.
● Контрола на контаминација и лесно одржување: Како жртвувана или заменлива внатрешна обвивка, кварцниот штит ја одржува комората за реакција чиста така што го спречува таложењето на нуспроизводот на скапите ѕидови на комората и грејачите. Овие делови може да се регенерираат преку влажно чистење (како што се растворите SPM+DHF) или лесно да се заменат за да се обезбеди висок принос на нафора.
● Екстремна хемиска отпорност: Кварцот VETEK е дизајниран да издржи чести термички циклуси и да се спротивстави на корозија од метални органски материи (како TMGa) и хидриди (како AsH3).
● Прецизна контрола на процесот: Нашите кварцни ролетни одржуваат висока димензионална стабилност при инфрацрвено или загревање со влакно. Нивната ниска топлинска инерција овозможува брз механички одговор, овозможувајќи прецизна контрола на растот на „атомското ниво“ и спречување на вкрстена контаминација за време на префрлување со повеќе обланди или повеќе процеси.
● Економска алтернатива: За проекти со строги буџетски барања, нашите кварцни производи обезбедуваат сигурна влезна точка во споредба со обложениот графит, нудејќи суштинска заштита и функционалност за системите MOCVD.