Брод со кварцен нафора со висока чистота

Кварцниот чамец со висока чистота на VeTek Semiconductor е направен од кварц со ултра висока чистота, кој има карактеристики на ниска содржина на хидроксил, висока чистота и силна отпорност на високи температури. Овој материјал е исто така широко користен во полупроводничката индустрија како материјал за дифузни печки и компоненти на CVD печки. Како контејнер за носење силиконски наполитанки, кварцниот брод со висока чистота се користи во полупроводнички, фотоволтаични, хемиски и други полиња.

Апликативни сценарија

Прво е полето со полупроводници. Процесот на термичка обработка на наполитанките е многу важен, вклучувајќи термичка оксидација, дифузија, жарење итн. Преку процесот на термичка обработка, на наполитанките им даваме нови карактеристики.

Цевките со јадро на сериските печки се користат за процеси на обработка на полупроводнички обланди, како што се термичка оксидација, висока температура дифузија, жарење и таложење на тенок филм. Сериската печка за греење главно се користи за загревање на телото на печката со калеми за да се заврши термичката обработка. Според различните работни структури, цевките со јадро на сериските печки може да се поделат на хоризонтални и вертикални печки:

(1) Бродот со висока чистота кварц на хоризонталната печка се поставува хоризонтално, така што се нарекува хоризонтална печка.

Во процесот на третман на топлина, нафтата е натоварена на бродот со висока чистота кварц, полека се испраќа во цевката за печка на кварц, а нафтата се става во постојана температурна зона за обработка. Откако чекаше да се заврши процесот, нафора користениот кварц брод полека се извлекува од печката на кварцот за да се спречи оштетување на нафтата поради ненадејни промени во температурата. Хоризонталните печки широко се користат во процесот на дифузија на интегрирани кола со дијаметар на нафта помала од 200мм. 

Предностите на хоризонталните печки се едноставен процес, добра униформност помеѓу нафорите и можноста за обработка на повеќе нафора во исто време. Недостатоците се бавна брзина на загревање, голема големина на опрема, тешкотии во автоматизацијата и лесно внесување на надворешен воздух при вчитување и растоварање на нафори.

(2) Кварцниот брод со висока чистота на вертикалната печка е поставен вертикално, па затоа се нарекува вертикална печка.

Нафтата е натоварена на кварцната кула и полека се искачува на цевката за печка на кварцната за греење. За време на процесот на греење, бродот со висока чистота кварц нафта полека ќе се ротира за да се осигура дека нафтата се загрева рамномерно. По обработката, кварцната кула полека ќе се спушти за да се избегнат температурните промени што можат да предизвикаат оштетување на нафтата. Вертикалните печки главно се користат во интегрираниот процес на коло од нафора со дијаметар од 200мм и 300мм. Основната технологија на вертикалните печки лежи во контрола на полето со висока прецизност, контрола на честички, микро-животна средина за контрола и моторизација на микро-кислород. Предностите на вертикалните печки се тенок слој на природен оксид, добра униформност, полесна автоматизација, стапало на мала опрема и обработка на серија. Недостаток е што брзината на греење е бавна.

Во фотоволтаичното поле, процесот на производство на фотоволтаични клетки бара кварцните чамци да носат и транспортираат силиконски нафора во процесот на дифузија со висока температура. Третманот со висока температура во азот со висока чистота, кислород или друга атмосфера на инертен гас, како што е дифузија на фосфор или дифузија на бор, е важен чекор во производниот процес на соларни клетки. Целта е да се формира PN спој на силиконскиот нафта.

Кварцниот брод има прецизно дизајнирани слотови внатре за да се осигура дека силиконската обланда ја одржува точната позиција за време на процесот на дифузија на висока температура и рамномерно се загрева. Бидејќи кварцниот материјал има добра отпорност на високи температури и хемиска стабилност, нема да ја загади силиконската обланда, што е погодно за одржување на висока чистота на производната средина.

Како иноватор и лидер на кинескиот пазар за користени кварцни чамци со Wafer, без разлика дали сте ангажирани во индустријата за полупроводници или фотоволтаична индустрија, сè додека ви треба брод со кварцна нафора со висока чистота, ве молиме побарајте ни понуда и ние ќе можеме да го прилагодиме тоа за вас според вашите потреби.

Полупроводник VeTek продавници за производи: