Порозни сик керамички чакови

Порозните керамички чакови SIC понудени од Vetekesmon е направени од порозен силиконски карбид со висока чистота (SIC), овој керамички чак обезбедува униформа проток на гас, одлична рамност и термичка стабилност под високи вакуум и температурни услови. Идеално е за системите за стегање на вакуум, каде што не-контакт, ракување со нафта без честички е клучно.

Ⅰ. Клучни материјални својства и придобивки од перформансите

1. Одлична термичка спроводливост и отпорност на температура

Силиконскиот карбид нуди висока термичка спроводливост (120–200 w/m · k) и може да издржи работни температури над 1600 ° C, со што Чак е идеален за гравирање на плазма, обработка на јонски зрак и процеси на таложење на висока температура.

Улога: Обезбедува униформа дисипација на топлина, намалување на искривување на нафтата и подобрување на процесната униформност.

2. Супериорна механичка јачина и отпорност на абење

Густата микроструктура на SIC му дава исклучителна цврстина на Чак (> 2000 HV) и механичка издржливост, неопходна за повторливи циклуси на вчитување/истовар на нафора и груби околини за процеси.

Улога: Го продолжува животниот век на Чак додека одржува димензионална стабилност и прецизност на површината.

3. Контролирана порозност за униформа дистрибуција на вакуум

Ситно подесената порозна структура на керамиката овозможува конзистентно вакуумско вшмукување низ површината на нафтата, обезбедувајќи безбедно поставување на нафта со минимална загадување на честички.

Улога: Ја подобрува компатибилноста на чистењето и обезбедува обработка на нафта без оштетување.

4. Одличен хемиски отпор

Инертноста на SIC до корозивни гасови и плазма околини го штити Чак од деградација за време на реактивно јонско гравирање или хемиско чистење.

Улога: Ја минимизира фреквенцијата на застој и чистење, намалувајќи ги оперативните трошоци.

Ⅱ. Услуги за прилагодување и поддршка на Vetekemicon

На Ветексемион, ние нудиме целосен спектар на прилагодени услуги за да ги исполниме точните барања на производителите на полупроводници:

● Прилагодена геометрија и дизајн на големината на порите: Ние нудиме чакови во различни големини, дебелини и густини на порите, прилагодени на спецификациите на вашата опрема и барањата за вакуум.

● Брз прототипирање на пресврт: Кратко време на олово и ниска поддршка за производство на MOQ за R&D и пилотски линии.

● Сигурна услуга по продажбата: Од насоки за инсталација до мониторинг на животниот циклус, обезбедуваме долгорочна стабилност на перформансите и техничка поддршка.

Ⅲ. Апликации

● Опрема за гравирање и обработка на плазма

● јонска имплантација и комори за полнење

● Системи за хемиско механичко полирање (CMP)

● Платформи за метрологија и инспекција

● Системи за држење на вакуум и стегање во околини за чистење простории

Продавница за производи Vekekemeicon: