Производи
Прстен пред загревање
  • Прстен пред загревањеПрстен пред загревање

Прстен пред загревање

Прстенот пред загревање се користи во процесот на епитакси на полупроводници за да се загреат нафорите и да се направи температурата на нафорите постабилни и униформни, што е од големо значење за висококвалитетниот раст на епитаксичните слоеви. Полупроводникот на Ветек строго ја контролира чистотата на овој производ за да се спречи испарување на нечистотиите на високи температури.

Прстенот пред загревање е клучна опрема специјално дизајнирана за епитаксијален (EPI) процес во производството на полупроводници. Се користи за претходно загревање на наполитанки пред процесот на EPI, обезбедувајќи температурна стабилност и униформност во текот на епитаксијалниот раст.


Произведен од VeTek Semiconductor, нашиот EPI Pre Heat Ring нуди неколку забележителни карактеристики и предности. Прво, тој е конструиран со употреба на материјали со висока топлинска спроводливост, што овозможува брз и униформен пренос на топлина на површината на обландата. Ова го спречува формирањето на жаришта и температурни градиенти, обезбедувајќи постојано таложење и подобрување на квалитетот и униформноста на епитаксијалниот слој. Покрај тоа, нашиот EPI пред топлотен прстен е опремен со напреден систем за контрола на температурата, овозможувајќи прецизна и конзистентна контрола на температурата пред загревањето. Ова ниво на контрола ја подобрува точноста и повторливоста на клучните чекори, како што се растот на кристалот, таложењето на материјалот и реакциите на интерфејсот за време на процесот ЕПИ.


Издржливоста и доверливоста се суштински аспекти на дизајнот на нашиот производ. EPI Pre Heat Ring е изграден да издржи високи температури и работни притисоци, одржувајќи ја стабилноста и перформансите во подолги периоди. Овој дизајнерски пристап ги намалува трошоците за одржување и замена, обезбедувајќи долгорочна доверливост и оперативна ефикасност. Инсталирањето и работењето на EPI Pre Heat Ring се едноставни, бидејќи е компатибилен со вообичаената EPI опрема. Се одликува со механизам за поставување и пронаоѓање нафора, лесен за корисникот, што ја зголемува практичноста и оперативната ефикасност.


На Vetek Semiconductor, ние исто така нудиме услуги за прилагодување за да ги исполниме специфичните барања за клиенти. Ова вклучува прилагодување на големината, формата и опсегот на температурата на прстенот на прстенот на ЕПИ, за да се усогласат со уникатни потреби за производство. За истражувачите и производителите вклучени во епитаксијален раст и производство на полупроводнички уреди, EPI Pre Heat Ring од VeTek Semiconductor обезбедува исклучителни перформанси и сигурна поддршка. Служи како критична алатка за постигнување висококвалитетен епитаксијален раст и олеснување на ефикасните процеси на производство на полупроводнички уреди.


SEM ПОДАТОЦИ НА CVD SIC ФИЛМ

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Основни физички својства на CVD SIC облогата:

Основни физички својства на CVD SiC облогата
Имотот Типична вредност
Кристална структура FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана
Густина на обложување 3,21 g/cm³
Сик цврстина на обложување 2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g)
Големина на зрно 2 ~ 10 μm
Хемиска чистота 99,99995%
Топлински капацитет 640 J · kg-1· К.-1
Температура на сублимација 2700 ℃
Јачина на свиткување 415 MPa RT 4-точка
Модул на Јанг 430 GPa 4pt Bend, 1300 ℃
Термичка спроводливост 300 W·m-1· К.-1
Термичка експанзија (CTE) 4,5×10-6K-1


Тоа полупроводникПрстен пред загревањеПроизводство продавница

SiC Graphite substratePre-Heat Ring testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


Жешки тагови: Прстен пред загревање
Испрати барање
Контакт Инфо
  • Адреса

    Вангда патот, улицата Зијанг, округот Вуи, градот Jinинхуа, провинцијата hejеџијанг, Кина

  • Е-пошта

    anny@veteksemi.com

За прашања во врска со облогата со силикон карбид, облогата со тантал карбид, специјалниот графит или ценовникот, ве молиме оставете ни ја вашата е-пошта и ние ќе стапиме во контакт во рок од 24 часа.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept