Што е обложување на TAC? - Полупроводник на Ветек

TAC облога (Танталум карбид облога) е материјал за обложување со високи перформанси произведен од процес на таложење на хемиска пареа (CVD). Поради одличните својства на облогата на TAC под екстремни услови, таа се користи во процесот на производство на полупроводници, особено во опрема и компоненти за кои е потребна висока температура и силна корозивна околина. Оставата TAC обично се користи за заштита на подлоги (како што се графит или керамика) од оштетување со висока температура, корозивни гасови и механичко абење.

Физички својства на облогата TAC

Карактеристики на производот и предности

● Екстремно висока термичка стабилност:

Опис на карактеристиките: TAC облогата има точка на топење од повеќе од 3880 ° C и може да ја задржи стабилноста без распаѓање или деформација во екстремно висока температурна околина.

Предност: Ова го прави неопходен материјал во високо-температура полупроводнички опрема, како што се CVD TAC облога и TAC обложен подложен, особено за апликации во реакторите MOCVD, како што е опремата Aixtron G5.

● Одлична отпорност на корозија:

Опис на карактеристиките: TAC има екстремно силна хемиска инертност и може ефикасно да одолее на ерозијата на корозивни гасови како што се хлориди и флуориди.

Предности: Во полупроводничките процеси кои вклучуваат високо корозивни хемикалии, TAC облогата ги штити компонентите на опремата од хемиски напад, го продолжува животниот век на услугата и ја подобрува стабилноста на процесите, особено во примената на силиконскиот брод на нафта и други клучни компоненти.

● Одлична механичка цврстина:

Опис на карактеристиките: Цврстината на TAC облогата е дури 9-10 MOH, што го прави отпорен на механичко абење и стрес на висока температура.

Предност: Сопственоста на висока цврстина ја прави облогата на TAC особено погодна за употреба во високи околини за абење и високи стрес, обезбедувајќи долгорочна стабилност и сигурност на опремата под груби услови.

● Ниска хемиска реактивност:

Опис на карактеристиките: Поради својата хемиска инертност, TAC облогата може да одржи ниска реактивност во околини со висока температура и да избегне непотребни хемиски реакции со реактивни гасови.

Предност: Ова е особено важно во процесот на производство на полупроводници затоа што обезбедува чистота на процесното опкружување и висококвалитетно таложење на материјали.

Улогата на облогата на TAC во обработката на полупроводници

● Заштита на компонентите на клучната опрема:

Опис на функцијата: TAC облогата е широко користена во клучните компоненти на опрема за производство на полупроводници, како што е TAC обложениот подложен, кој треба да работи под екстремни услови. Со обложување со TAC, овие компоненти можат да работат подолг временски период во средини со висока температура и корозивни гас, без да бидат оштетени.

● Проширете го животот на опремата:

Опис на функцијата: Во MOCVD опрема како што е Aixtron G5, TAC облогата може значително да ја подобри издржливоста на компонентите на опремата и да ја намали потребата за одржување и замена на опремата заради корозија и абење.

● Подобрете ја стабилноста на процесот:

Опис на функцијата: Во производството на полупроводници, TAC облогата обезбедува униформност и конзистентност на процесот на таложење преку обезбедување стабилна висока температура и хемиска околина. Ова е особено важно во процесите на епитаксијален раст, како што се силиконската епитакси и галиум нитрид (ГАН).

● Подобрете ја ефикасноста на процесот:

Опис на функцијата: Со оптимизирање на облогата на површината на опремата, TAC облогата може да ја подобри целокупната ефикасност на процесот, да ја намали стапката на дефект и да го зголеми приносот на производот. Ова е клучно за производство на материјали со висока прецизност, висока чистота.

Високата термичка стабилност, одлична отпорност на корозија, механичка цврстина и ниска хемиска реактивност изложена со обложување на TAC за време на обработката на полупроводници, го прават тоа идеален избор за заштита на компонентите на опрема за производство на полупроводници. Бидејќи побарувачката на полупроводна индустрија за висока температура, висока чистота и ефикасни процеси на производство продолжува да се зголемува, TAC облогата има широки перспективи на примена, особено во опрема и процеси кои вклучуваат CVD TAC облога, TAC обложени подложни и Aixtron G5.

Co. Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd е водечки снабдувач на напредни материјали за обложување за индустријата за полупроводници. Нашата компанија се фокусира на развој на врвни решенија за индустријата.

Нашите главни понуди на производи вклучуваатCVD силиконски карбид (sic) облоги, Танталум карбид (TAC) облоги, најголемиот дел од сик, сик прашоци и материјали со висока чистота SIC, SIC обложени графитни подложни, загреани прстени, прстен за пренасочување обложен со TAC, делови од полувреме, итн., Чистотата е под 5ppm, може да ги исполни барањата на клиентите.

ВЕТЕК Полупроводнички фокус се фокусира на развој на врвни технологии и решенија за развој на производи за индустријата за полупроводници.Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.