Производи
SiC облога Монокристален силиконски епитаксијален послужавник
  • SiC облога Монокристален силиконски епитаксијален послужавникSiC облога Монокристален силиконски епитаксијален послужавник

SiC облога Монокристален силиконски епитаксијален послужавник

SiC облога Монокристалниот силиконски епитаксијален послужавник е важен додаток за монокристална силициумска епитаксијална печка за раст, обезбедувајќи минимално загадување и стабилна средина за епитаксијален раст. SiC облогата на VeTek Semiconductor Монокристалниот силиконски епитаксијален фиока има ултра долг работен век и обезбедува различни опции за прилагодување. VeTek Semiconductor со нетрпение очекува да стане ваш долгорочен партнер во Кина.

SiC облогата на VeTek полупроводникот Монокристален силиконски епитаксијален послужавник е специјално дизајниран за епитаксијален раст на монокристален силикон и игра важна улога во индустриската примена на монокристална силициумска епитаксија и сродните полупроводнички уреди.SiC облогане само што значително ја подобрува температурната отпорност и отпорноста на корозија на фиоката, туку обезбедува и долгорочна стабилност и одлични перформанси во екстремни средини.


Предности на облогата на SIC


SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray working diagram

● Висока термичка спроводливост: SIC облогата во голема мерка ја подобрува способноста за термичко управување на фиоката и може ефикасно да ја растера топлината генерирана од уреди со голема моќност.


● Отпорност на корозија: SiC облогата добро функционира во високи температури и корозивни средини, обезбедувајќи долг работен век и доверливост.


●  Еднообразност на површината: Обезбедува рамна и мазна површина, ефикасно избегнувајќи ги производствените грешки предизвикани од нерамномерноста на површината и обезбедувајќи стабилност на епитаксијалниот раст.


Според истражувањето, кога големината на порите на графитската подлога е помеѓу 100 и 500 nm, може да се подготви графички слој на графит, а облогата SIC има посилна способност за антиоксидација. Отпорноста на оксидација на SIC облогата на овој графит (триаголна крива) е многу посилна од онаа на другите спецификации на графит, погодна за раст на единечна кристална силиконска епитакси. SIC на монокристалниот силиконски силиконски силиконски силиконски фиока на Vetek SiC SIC го користи SGL Graphite какографитна подлога, што е во состојба да постигне такви перформанси.


SiC облогата на VeTek Semiconductor Монокристалниот силиконски епитаксијален послужавник ги користи најдобрите графитни материјали и најнапредната технологија за обработка на облоги од SiC. Што е најважно, без разлика какви потреби за прилагодување на производот имаат клиентите, можеме да дадеме се од себе за да ги исполниме.


Основни физички својства на CVD SIC облогата


Основни физички својства на CVD SIC облогата
Имотот
Типична вредност
Кристална структура
FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана
Густина
3,21 g/cm³
Цврстина
2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g)
Жито Сиze
2 ~ 10мм
Хемиска чистота
99,99995%
Топлински капацитет
640 J · kg-1· К.-1
Температура на сублимација 2700
Флексурална сила
415 MPa RT 4-точка
Модул на Јанг
430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
Термичка спроводливост
300W · m-1· К.-1
Термичка експанзија (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Продавници за производство на полупроводници на Vetek


Graphite epitaxial substrateSemiconductor heating furnace equipmentGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

Жешки тагови: SiC облога Монокристален силиконски епитаксијален послужавник
Испрати барање
Контакт Инфо
  • Адреса

    Вангда патот, улицата Зијанг, округот Вуи, градот Jinинхуа, провинцијата hejеџијанг, Кина

  • Е-пошта

    anny@veteksemi.com

За прашања во врска со облогата со силикон карбид, облогата со тантал карбид, специјалниот графит или ценовникот, ве молиме оставете ни ја вашата е-пошта и ние ќе стапиме во контакт во рок од 24 часа.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept