Фокус прстен за гравирање

Монокристалните прстени за гравирање на силикон се основни компоненти во процесите на гравирање на полупроводници со одржување на стабилноста на плазмата на животната средина, заштитата на опрема и нафора, оптимизирање на користењето на ресурсите и прилагодување на барањата за напредни процеси. Неговите перформанси директно влијаат на приносот и цената на производството на чипови.

Ограничен прстен за фокус, електрода и слично (контролор на температура на работ) се основните потрошни материјали за да се обезбеди униформност во плазмата, контрола на температурата и повторливост на процесите. Овие компоненти се прецизно собрани во вакуумската комора на CVD, гравирање и филмска опрема и директно ја одредуваат точноста и приносот на гравирање од работ до центарот на нафтата.

Како одговор на строгата побарувачка за материјални својства во високо-производните процеси на производство, Ветексеми иновира со употреба на монокристален силикон со висока чистота со отпорност од 10-20Ω · cm за производство на прстени за фокусирање и поддршка на потрошувачки. Преку колаборативна оптимизација на науката за материјали, електричниот дизајн и термодинамиката, Ветексеми е во состојба да произведува прстени за фокусирање и поддршка на потрошни материјали. Сеопфатно ги надминува традиционалните кварцни решенија за да се постигнат подобрувања во пробивот на долговечноста, точноста и ефикасноста на трошоците.

Споредба на основни материјали и оптимизација на отпорност

Монокристален силикон vs. Кварц

Core Core Advantage

1. Точност на процесот на атомско ниво

Оптимизација на отпорност + Полирање на ултра прецизност (RA <0,1μM) ги елиминира микро-празнењето и загадувањето на честички за да се исполнат полу-стандардите F47.

Загубата на диелектрикот (TANΔ <0.001) е многу совпаѓано со диелектричната околина на нафтата, избегнувајќи го нарушувањето на електричното поле и да го поддржува 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° вертикално искачување на длабоки дупки.

2. Интелигентна компатибилност на системот

Интегриран со модул за контрола на температурата на работ на работ, протокот на воздух за ладење е динамички прилагоден со алгоритмот на термопар и АИ за да се компензира термичкиот напредок на комората.

Поддржете ја прилагодената мрежа за појавување на РФ, погодна за мејнстрим машини како што се Amat Centura, LAM Research Kiyo и ICP/CCP извори на плазма.

3. Сеопфатна економичност

Theивотот на монокристалниот силикон е 275% подолг од оној на кварц, циклусот на одржување е повеќе од 3.000 часа, а сеопфатната цена на сопственост (TCO) е намалена за 30%.

Услуга за прилагодување на градиентот на отпорност (5-100Ω · cm), прецизно совпаѓање на прозорецот за процеси на клиенти (како што е гравирање на материјал за јаз на широки опсези GAN/SIC).

Ефектот на отпорност

Комерцијални термини на производи

Минимална количина на нарачка	1 сет
Цена	Контакт за прилагодена понуда
Детали за пакување	Стандарден пакет за извоз
Време на испорака	Време на испорака: 30-35 дена по потврдата за нарачката
Услови за плаќање	T/t
Способност за снабдување	600 комплети/месец