Кварцно ѕвоно тегла од полупроводничка класа

Полупроводничкиот степен на кварц arвонче е изработена од материјал со висока чистота кварц. Има одлична термичка стабилност и силна отпорност на корозија и се користи на многу полиња. Во индустријата за полупроводнички: Quartz Bell Jar на полупроводници обезбедува контролирана околина за таложење на тенки филмови на нафора за време на таложење на хемиска пареа (CVD). Полупроводничкиот кварц Quartz Bell Jar се користи и во процеси кои бараат вакуумска технологија, како што е производство на оптички облоги, метални облоги и други видови на тенки филмови. Полупроводничкиот кварц Quartz Bell Jar е исто така потребна во многу физички и материјални научни експерименти за кои е потребна висока чистота, вакуумско запечатено опкружување.

Сценарија за употреба во индустријата за полупроводници:

Полисиликон е силиконски материјал составен од многу мали зрна, што се користи широко во интегрирани кола, соларни ќелии и други полиња. Депонирање на хемиска пареа (CVD) е еден од главните методи за подготовка на поликристален силикон. Основниот принцип е дека силиконскиот извор на гас, како што е SIH4, се распаѓа на висока температура и се депонира на подлогата за да формира поликристален силикон

Sihcl3 + h2 ⇒ si + 3hcl

Под услови на висока температура и вакуум, гасот од изворот на силициум се внесуваше во хемиското таложење на пареа. Конечно е добиен поликристален силициум. Теглата од кварц со полупроводничка класа е важен дел од поликристалниот силиконски CVD реактор.

Поликристален силиконски CVD реактор

Под висока температурна реакција на CVD, кварцната тегла со полупроводнички степен може да обезбеди униформа топлинска средина. Отпорноста на висока температура на кварцниот материјал со висока чистота (може да издржи температури до околу 1100°C) му овозможува да работи стабилно при CVD реакции и да обезбеди рамномерна распределба на температурата во областа на реакцијата. Во процесот на CVD, има многу компоненти на токсичен гас, како што се PH3, итн. Отпорноста на корозија на кварцниот материјал со висока чистота, исто така, им овозможува на другите материјали да работат стабилно долго време за време на процесот на CVD и не се лесно кородирани или оштетени.

Кварцната arвона тегла се користи во комбинација со кварцната цевка за зачувување на топлината и вертикалниот кварц брод и најмногу се користи во епитаксијалниот процес на производство на чип на интегрално коло на полупроводници. Епитаксијалната печка генерално усвојува вертикална структура, со Quartz Bell Jar од надворешната страна на вертикалниот кварц брод и цевката за зачувување на топлината на кварцот како поддршка.

Друга типична примена на полупроводничкиот кварц Quartz Bell Jar во висока температурна околина: Да се ​​загрее серија на ортодонтски делови до 704 ℃ во рок од 1 секунда во инертен атмосфера за лапчиња

Vetek Semiconductor има зрел технички тим. Без оглед на каква форма или материјал со тегла со голема чистота кварц, што ви треба, можеме да ја прилагодиме за вас.

Продавници за производи на VeTek Semiconductor: