Полупроводничка керамичка млазница

Полупроводничка керамичка млазница игра важна улога воHDP-CVD процес, се користи за прецизно да се контролира протокот на гас и да се обезбедивисококвалитетно таложење на филм. Керамички спреј за млазници е точно инженерски за да се обезбедат конзистентни и контролирани стапки на проток на гас, минимизирајќи ги можните турбуленции кога гасот влегува во комората на реакција.

Технички спецификации:

1. Состав на материјал:

Млазницата за керамички песок на Vetek полупроводник обично се изработени од полупроводничка керамика како што е алуминиум оксид (Al2O3),силициум карбид (SiC), или циркониум оксид (ZRO2), овие материјали имаат одлични својства:

    • висока термичка стабилност (може да издржи температури над 1000℃)

    • Отпорност на корозија со реактивни гасови што се користат воCVD процеси(како што се силин, амонијак)

    • Отпорност на континуирана изложеност на плазма.

2. Конструктивен дизајн:

    • Големина на отворот: Орифтот на полупроводникот керамичка млазница е научно дизајнирана за да овозможи прецизна контрола на протокот на гас, што пак влијае на униформноста и дебелината на филмот.

    • Агли и геометрии: точно дизајнирани да обезбедат униформа дистрибуција на гас низ подлогата, минимизирајќи ги дефектите во депонираниот слој.

Во индустријата за полупроводници, полупроводничката керамичка млазница игра клучна улога првенствено во процесот на HDP-CVD. Тие исто така се користат за таложење на тенки филмови за производство на микроелектроника, обезбедувајќи висококвалитетни површински облоги кои се униформни и без загадувачи.

Продавница за керамички млазници за полупроводници на VeTeK: