Керамички електростатски чак

Процесите за производство на полупроводници, особено обработката на нафта, се вршат во вакуумско опкружување и механички прицврстувачи на нафора 

одредени ризици. Кога силата е концентрирана на точката на стегање, кршливите силиконски нафора може да пролеваат ситни фрагменти, предизвикувајќи сериозно оштетување на производството на нафта.

Во овој случај, керамичката електростатска чак станува подобар избор, кој го поправа нафтата со електростатска сила. Електростатската сила делува рамномерно на нафтата, така што нафтата може да се поправи тешко, подобрувајќи ја точноста на процесот.

Според релевантните истражувачки трудови, керамичкиот електростатски чак имаат посилно вшмукување од другите електростатски чакови. На пример, керамичкиот електростатски Чак има многу посилно вшмукување од електростатскиот Чак за миленичиња.

Керамиката Чак обично е изработена од керамички материјали со високи перформанси, како што се AL2O3, ALN или SIC, што има голема отпорност на топлина, изолација и отпорност на корозија. Порозниот керамички керамички чак не е стабилен само на екстремни температури, туку исто така ефикасно спречува керамички Е-Чак од деградација како резултат на хемиски реагенси и гравирање на плазма за време на производниот процес.

Контрола на температурата: Високата термичка спроводливост и стабилните термички својства на керамичките материјали му овозможуваат на алуминиумскиот керамички вакуум Чак ефикасно да ја контролира температурата, а со тоа да ја оптимизира дистрибуцијата на температурата за време на овој процес.

Вакуумска прилагодливост: Керамички електростатски чак е погоден за вакуумски околини, особено во процесите на гравирање со низок притисок и прецизност.

Ниска генерација на честички: Порозна SIC керамичка е-чиста има мазна површина, што може да ја намали загадувањето на честички за време на фиксирањето на нафтата и да помогне во подобрување на приносот на производот.

Апликација: Главно се користи во производство на полупроводници, одвојлив керамички електростатски чак, обезбедувајќи прецизно позиционирање и стабилност, што е многу корисно за литографија, гравирање и други процеси на производство на нафора на полупроводници. Осигурете се дека нафтата е недопрена за време на обработката и подобрување на квалитетот на производството на чипови.

Тоа полупроводникПродавници за производство на керамички Е-Чак: