Крајниот ефект на ракување со нафора

Крајниот ефект на ракување со нафора е еден вид роботска рака дизајниран специјално за полупроводна индустрија, обично се користи за ракување и трансфернафора. Производствената околина на нафора бара исклучително висока чистота, затоа што ситните честички или загадувачи можат да предизвикаат чипови да не успеат за време на обработката. 

Керамичките материјали се користат во производството на овие раце заради нивните одлични физички и хемиски својства.

Чистота и композиција

Чистотата на алумина е обично ≥99,9%, а металните нечистотии (како што се MGO, CaO, Sio₂) се контролираат во рамките на 0,05% на 0,8% за да се подобри отпорноста на гравирање на плазма.

α-фаза алумина (структура на корунум) е главната, типот на кристал е стабилен, густината е 3,98 g/cm³, а вистинската густина по тонењето е 3,6 ~ 3,9 g/cm³.

Механички имот

Цврстина: Мохс цврстина 9 ~ 9,5, Викерс тврдост 1800 ~ 2100 HV, повисока од не'рѓосувачки челик и легура.

Сила на свиткување: 300 ~ 400 MPa, што може да го издржи механичкиот стрес на ракување со голема брзина на нафта.

Еластичен модул: 380 ~ 400 GPa, за да се осигура дека раката за ракување е ригидна и не е лесна за деформирање.

Термички и електрични својства

Термичка спроводливост: 20 ~ 30 w/(m · k), сè уште одржувајте стабилна изолација (отпорност> 10⁴ ω · cm).

Отпорност на температура: Долгорочната употреба на температурата може да достигне 850 ~ 1300 ℃, погодна за вакуумско опкружување со висока температура.

Карактеристична површина

Грубост на површината: Ra≤ 0,2μm (по полирање) за да се избегнат гребнатини на нафта

Порозност на вакуумска адсорпција: Шуплива структура постигната со изостатско притискање, порозност <0,5%.

Второ, карактеристики на структурниот дизајн

Оптимизација на лесна и сила

Користејќи интегриран процес на обликување, тежината е само 1/3 од металната рака, намалувајќи ја грешката за позиционирање предизвикана од инерција.

Крајниот ефект е дизајниран како прицврстувач или вакуумски абсорбер, а површината за контакт е обложена со антистатичка обвивка за да се спречи нафтата да ја загади 710 со електростатска адсорпција.

Отпорност на загадување

Алумина со висока чистота е хемиски инертен, не ослободува метални јони и го исполнува полу -стандардот за чистота F47 (загадување на честички <10 ppm).

Трето, барањата за процесот на производство

Формирање и топење

Изостатско притискање (притисок 200 ~ 300 MPa) за да се обезбеди густина на материјалот> 99,5%.

Висина на висока температура (1600 ~ 1800 ℃), контрола на големината на житото во 1 ~ 5μm за да се балансира јачината и цврстината.

Прецизна машинска обработка

Обработка на мелење на дијаманти, димензионална точност ± 0,01мм, рамност ≤ 0,05мм/м

Полу Продавници за производи: