Кварцна печка цевка за дифузна печка

1. Клучни карактеристики и предности

• Дехидроксилиран споен кварц со ултра висока чистота (SiO2 ≥ 99,999%) со метални нечистотии контролирани на нивоа на ppb и екстремно ниска содржина на хидроксил

• Долгорочна работна температура до 1100 °C; краткорочен врвен отпор до 1200 °C

• Одлична отпорност на термички шок по целосно жарење за ослободување од стрес - отпорна на пукање при брзи температурни промени

• Извонредна хемиска инертност против оксидирачки, редуцирачки и процесни гасови што содржат халоген; погоден за плазма и корозивни атмосфери

• Многу ниско вакуумско испуштање гасови; мазниот внатрешен ѕид го минимизира натрупувањето на нуспроизводите и ја поддржува повторливоста на процесот

• Едноделно обликување со еднаква дебелина на ѕидот, висока коаксијалност и прецизно завршени краеви за сигурно запечатување

• Прилагодливи структури: прави цевки, цевки за редуктор, цевки со прирабници, продолжени должини и специјални крајни конфигурации за вертикални или хоризонтални печки

2. Типични апликации

Цевките за кварцна печка VeTek широко се користат како комора за реакција на јадрото во:

• Печки за термичка оксидација (сува/влажна оксидација)

• Дифузни печки за внесување на допанти (B, P, As, итн.)

• LPCVD системи за таложење со тенок слој

• Вакуумско жарење и други процеси на термичка обработка на висока температура

• Компатибилен со 4-инчни, 6-инчни, 8-инчни и 12-инчни платформи за нафора (Si, SiC, GaN, подлоги од сафир)

Тие поддржуваат логика, меморија, уред за напојување, MCU, LED, MEMS и линии за производство на полупроводници со широк опсег што бараат стабилна рамномерност на температурата, контрола на протокот на гас и ултра чисти процесни средини.

3. Клучни технички параметри

• Материјал: дехидроксилиран фузиран кварц од полупроводник (SiO2 ≥ 99,999%), низок хидроксил, ниски метални нечистотии

• Компатибилност со нафора: 4 / 6 / 8 / 12 инчи

• Долгорочна работна температура: −20 °C до 1100 °C; краткорочен врв до 1200 °C

• Процес: едноделно термичко формирање, хомогенизација на ѕидот, завршна завршна обработка, жарење за ослободување од стрес, тест за истекување на хелиум, ултра чисто чистење

• Достапни структури: права цевка, цевка за редуктор, цевка со прирабници, продолжена / цевка по сопствена должина, конфигурации со специјален крај

• Приспособување: внатрешен/надворешен дијаметар, должина, дебелина на ѕидот, спецификации на прирабници и специјални геометрии по цртежи по клиент

4. Зошто да изберете VeTek кварцни цевки за печка?

Како професионален производител на полупроводнички кварцни компоненти, VeTek Semiconductor нуди:

• Цевки од кварцни печки со висока чистота, дизајнирани за опрема за оксидација, дифузија, LPCVD и жарење

• Строга контрола на чистотата, прецизност на димензиите и чистота погодни за производство во чиста соба од класа 10/класа 100

• Целосно прилагодување и дизајни компатибилни со OEM за вертикални и хоризонтални печки со цевки

• Дополнителни полупроводнички кварцни производи, вклучувајќи чамци со нафора, садници, облоги и други процесни компоненти

Нашите цевки од кварцна печка помагаат да се одржат стабилни услови за топлинска енергија и проток на гас, да се минимизира контаминацијата на честички и метали и да се продолжи работниот век при континуирано високотемпературно возење - поддржувајќи поголем принос и пониски трошоци за сопственост при термичка обработка со полупроводници.