SiC обложен графитен чувствител за ASM

Општи информации за производот

Деловни услови за производи

✔ Апликација: Графитната подлога обложена со SiC Veteksemicon е клучен потрошен материјал за епитаксијалната опрема од серијата ASM. Директно ја поддржува нафората и обезбедува еднообразно и стабилно термичко поле за време на епитаксијата на висока температура, што ја прави основна компонента за обезбедување на висококвалитетен раст на напредните полупроводнички материјали како што се GaN и SiC.

✔ Услуги кои можат да се обезбедат: анализа на сценарио за апликација на клиентите, материјали за совпаѓање, решавање технички проблеми. 

✔ Профил на компанијата：Veteksemicon има 2 лаборатории, тим од експерти со 20-годишно материјално искуство, со можности за истражување и развој и производство, тестирање и верификација.

Технички параметри

Мојот ривал SiC обложен графит чувствител за основни предности на ASM

1. Екстремна чистота и ниска стапка на дефекти

Користејќи специјална графитна подлога со висока чистота, со квалитет на ситни честички, во комбинација со нашиот строго контролиран процес на обложување со хемиско таложење на пареа (CVD), обезбедуваме дека облогата е густа, без дупки и без нечистотии. Ова значително го намалува ризикот од контаминација со честички за време на процесот на епитаксија, обезбедувајќи чиста средина на подлогата за раст на висококвалитетни епитаксијални слоеви.

2. Одлична отпорност на корозија и отпорност на абење

Пиролитичката обвивка од силициум карбид поседува исклучително висока цврстина и хемиска инертност, ефикасно се спротивставува на ерозијата на изворите на силициум (како SiH4, SiHCl3), изворите на јаглерод (како C3H8) и гасовите за гравирање (како што се HCl, H2) на високи температури. Ова значително го продолжува циклусот на одржување на основата и го намалува времето на прекин на машината предизвикано од замена на компонентите.

3. Одлична топлинска униформност и стабилност

Ја оптимизиравме дистрибуцијата на топлинското поле во опсегот на работната температура преку прецизен дизајн на структурата на подлогата и контрола на дебелината на облогата. Ова директно се преведува во одлична дебелина и униформност на отпорност во епитаксијалната обланда, што придонесува за подобрување на приносот на производството на чипови.

4. Одлична цврстина на адхезија на облогата

Уникатната технологија за предтретман на површината и градиентното обложување овозможуваат облогата со силициум карбид да формира силен спојувачки слој со графитната подлога, ефикасно спречувајќи проблеми со лупење, лупење или пукање на облогата што може да се појават за време на долготрајно термички циклус.

5. Прецизна големина и структурна репликација

Поседуваме зрели способности за CNC обработка и тестирање, што ни овозможува целосно да ја реплицираме сложената геометрија, димензиите на шуплината и монтажните интерфејси на оригиналната основа, обезбедувајќи совршено усогласување и функционалност приклучување и играње со платформата на клиентот.

6. Одобрување за верификација на еколошки синџир

Графит со обложен Veteksemicon SiC за верификација на еколошкиот синџир на ASM ги покрива суровините до производство, има положено сертификација за меѓународни стандарди и има голем број патентирани технологии за да се обезбеди неговата доверливост и одржливост во полињата на полупроводниците и новите енергетски полиња.

За детални технички спецификации, бели документи или аранжмани за тестирање примероци, ве молиме контактирајте го нашиот тим за техничка поддршка за да истражите како Veteksemicon може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.

Главни полиња за апликација

Продавница за производи Мојот ривал