Вакуум Чак

Апликација: 

Вакуум со висока ефикасност Чак изработен за прецизна адсорпција и цврста фиксација на нафора и инготи. Добро е погодно за ситуации, вклучувајќи производство на полупроводници, сечење на нафта, прецизно обработка, висока температурна епитакси, гравирање и јонска имплантација.

Основни параметри:

● Прилагодлива порозност (се движи од 10 - 200μm).
● способни да издржат ултра - високи температури (до 1600 ° C) и да покажат одлична отпорност на термички шок.
● Вакуум за адсорпција: Стандардот е - 90kpa (може да се прилагоди за да достигне 100kpa).

Dimensions Димензии на чашата за вшмукување: Може да поддржува 4/6/8/12 - нафора на инчи, а големината на ингонот може да се прилагоди според специфичните потреби.

Ⅰ. Опис

Керамички вакуум Vetekesmon Ceramic користи комбинирана структура на порозна керамика и метален надворешен прстен. Преку персонализираниот дизајн на воздушните канали и порите, таа реализира рамномерна дистрибуција на сила на адсорпција и висока стабилност. Овој чак е погоден за производство на полупроводници, сечење на нафта, прецизна обработка, итн. Може да работи во поставки за движење со висока температура и висока брзина и ги исполнува барањата за компатибилност на нафора/инготи во различни големини.

Ⅱ. Основна структура и материјални предности

Повеќеслоен композитен распоред:

✔ Површински слој: Направено од порозна керамика (можете да изберете помеѓу порозен силиконски карбид или порозен графит). Дијаметарот на порите може да се прилагоди (10 - 200 мм), што гарантира дека силата на адсорпција е рамномерно пренесена на површината на нафтата, со што се спречува градење на локален стрес.

✔ матрица: Составена од високо цврста метална рамка (или не'рѓосувачки челик или алуминиумска легура) за да понуди структурна поддршка и херметичност.

✔ Арви и пори: Точно машинските внатрешни дишни патишта формираат мрежа, заедно со рамномерно распоредени микропори. Оваа поставка поддржува брза вакуумска екстракција (силата на адсорпција може да достигне до - 90kpa) и моментално ослободување.

Ⅲ . Споредба на МаТеренски карактеристики

1. Споредба на материјални својства

2. Сценари и случаи на апликација

✔ Полупроводнички ткаенини

Епитаксијален раст: Може цврсто да ги привлекува нафорите на високи температури, спречувајќи ги нафорите да се искривуваат и да се загадат.

Литографија и гравирање: Овозможува прецизно позиционирање на платформите за движење со голема брзина (забрзување ≤ 10g), обезбедувајќи точноста на графичкото усогласување.

✔ Обработка на инго

Сечење и мелење: Може да се adsorb тешки инготи (како што се сафир и силикон - карбид инготи), намалување на пукање на работ заради вибрациите.

✔ Научно истражување и специјални технологии

Висока - Температурна прицврстување: Порозен силикон - чаши за вшмукување на карбид можат да работат континуирано на 1600 ° C без деформација или загадување на вентилацијата.

Вакуумска облога: Со висок дизајн на воздухот - затегнатост, може да се прилагоди на околината на шуплината PVD/CVD.

3. Прилагодена услуга

✔ Ние нудиме прилагодување за големина и оптоварување.

✔ Стомата и дишните патишта можат да се оптимизираат за да се исполнат специфичните барања.

✔ Може да се прилагоди на специјалните средини.

Ⅳ. Најчесто поставувани прашања:

Како вакуумските чакови постигнуваат компатибилност со повеќе големини нафта (на пр. 12/8/6 “)?

П: Како еден Чак се вклопува во 12-инчен, 8-инчен и 6-инчен нафора во исто време? Дали е потребно физичко реструктуирање?

О:Мулти-димензионална компатибилност преку адаптивни дишни патишта и поделба на стомакот:

✔ Динамичка контрола на стомакот: Стомата на површината на морон се дистрибуира во област на прстен, а воздушното коло во различни области е контролирано од надворешен вентил.

На пример, кога апсорбираат нафта од 8 инчи, овозможени се само порите во централното подрачје и надворешните пори се затворени (за да се избегне истекување на силата на адсорпција).

✔ Флексибилен дизајн на дишните патишта: Порт -мрежата има модуларен распоред што одговара на работните профили на нафора со различни големини за да се обезбеди униформа покриеност на силата на адсорпција. и Предностите се како следниве:

Замена на нулта хардвер: Нема потреба да се отстрани или замени чашата за вшмукување, преку прекинувачот за софтвер или гасни вентили може да се прилагоди на различни големини.

Заштеда на трошоците: Намалете ги трошоците за реновирање на опремата и прекинот и зголемете ја флексибилноста на производната линија.