Обезбедете епитаксична нафора на MOCVD

MOCVD епитаксијален нафора Подзотор е високо-перформанси епитаксичен нафора на нафора, дизајниран за опрема MOCVD (метално-органска хемиска пареа). Суксезорот е изработен од графитски материјал SGL и е обложена со силиконски карбид облога, кој ја комбинира високата термичка спроводливост на графит со одличната висока температура и отпорност на корозија на SIC и е погодна за суровата работна околина на висока температура, висок притисок и корозивен гас за време на епитаксијалниот раст на полупроводниците.

SGL графитниот материјал има одлична термичка спроводливост, што гарантира дека температурата на епитаксичната нафора е рамномерно распределена за време на процесот на раст и го подобрува квалитетот на епитаксијалниот слој. Обложената облога SIC му овозможува на подложникот да издржи високи температури од повеќе од 1600 ℃ и да се прилагоди на екстремното термичко опкружување во процесот на MOCVD. Покрај тоа, облогата SIC може ефикасно да одолее на високо-температурни реакциони гасови и хемиска корозија, да го прошират животниот век на подложноста и да го намалат загадувањето.

Епитаксијалниот нафтен нафора на Veteksemi може да се користи како замена за додатоци на добавувачи на опрема MOCVD, како што е Aixtron.

● Големина: Може да се прилагоди според потребите на клиентите (достапна стандардна големина).

● Капацитет за носење: Може да носи повеќе или дури и повеќе од 50 епитаксијални нафора истовремено (во зависност од големината на подложникот).

● Површински третман: SIC облога, отпорност на корозија, отпорност на оксидација.

● Индустрија за полупроводници: Се користи за раст на епитаксијални нафори како што се LED диоди, ласерски диоди и полупроводници на моќност.

● Индустрија за оптоелектроника: Го поддржува епитаксилниот раст на висококвалитетните оптоелектронски уреди.

● Истражување и развој на материјални материјали: Се применува на епитаксијална подготовка на нови полупроводници и оптоелектронски материјали.

Во зависност од видот на опремата на клиентот MOCVD и потребите за производство, Vetek Semiconductor обезбедува прилагодени услуги, вклучително и големината на подложникот, материјалот, третманот на површината, итн., За да се обезбеди дека најсоодветното решение е обезбедено на клиентите.

Кристална структура на филмот CVD SIC

Основни физички својства на CVD SIC облогата

Тоа полупроводник Продавници за епитаксични нафори на MOCVD