Производи

Veteksemicon графитниот брод за PECVD е прецизно обработен од графит со висока чистота и дизајниран специјално за процеси на хемиско таложење на пареа засилени со плазма. Искористувајќи го нашето длабоко разбирање за материјалите од полупроводнички топлинско поле и способностите за прецизна обработка, нудиме графитни чамци со исклучителна топлинска стабилност, одлична спроводливост и долг работен век. Овие чамци се дизајнирани да обезбедат високо рамномерно таложење на тенок филм низ секоја обланда во опкружувањето со тешки PECVD процес, подобрувајќи го приносот на процесот и продуктивноста.

Графитниот прстен со CVD TaC обложен од Veteksemicon е дизајниран да ги задоволи екстремните барања за обработка на нафора со полупроводници. Користејќи ја технологијата Chemical Vapor Deposition (CVD), густа и униформа облога од тантал карбид (TaC) се нанесува на графитни подлоги со висока чистота, со што се постигнува исклучителна цврстина, отпорност на абење и хемиска инертност. Во производството на полупроводници, CVD TaC обложениот графитен прстен е широко користен во MOCVD, офорт, дифузија и епитаксијални комори за раст, служејќи како клучна структурна или запечатувачка компонента за носачи на нафора, сенцептори и заштитни склопови. Со нетрпение ја очекуваме вашата понатамошна консултација.

Порозниот графитен прстен обложен со TaC произведен од VETEK користи лесна порозна графитна подлога и е обложен со облога од тантал карбид со висока чистота, која се карактеризира со одлична отпорност на високи температури, корозивни гасови и плазма ерозија

Силиконската карбид конзола лопатка од Veteksemicon е дизајнирана за напредна обработка на нафора во производството на полупроводници. Направен од SiC со висока чистота, обезбедува извонредна термичка стабилност, супериорна механичка сила и одлична отпорност на високи температури и корозивни средини. Овие карактеристики обезбедуваат прецизно ракување со нафора, продолжен работен век и доверливи перформанси во процеси како што се MOCVD, епитаксија и дифузија. Добредојдовте да се консултирате.

Veteksemicon SiC керамичкиот вакуум чак за нафора е дизајниран да испорача исклучителна прецизност и доверливост во полупроводничката обработка на нафора. Произведен од силициум карбид со висока чистота, обезбедува одлична топлинска спроводливост, хемиска отпорност и супериорна механичка сила, што го прави идеален за тешки апликации како што се офорт, таложење и литографија. Неговата ултра рамна површина гарантира стабилна поддршка на обландата, минимизирајќи ги дефектите и подобрувајќи го приносот на процесот. оваа вакум чак е доверлив избор за ракување со нафора со високи перформанси.

Фокусниот прстен со цврст SiC Veteksemi значително ја подобрува униформноста на офорт и стабилноста на процесот со прецизно контролирање на електричното поле и протокот на воздух на работ на обландата. Широко се користи во процесите на прецизно офортирање на силициум, диелектрици и сложени полупроводнички материјали и е клучна компонента за обезбедување принос на масовно производство и долгорочна сигурна работа на опремата.