SiC Керамички вакуум чак за нафора

Мојот ривал sic керамичката вакуумска чак за обланда е основна компонента развиена специјално за производство на полупроводници од трета генерација, оптимизирана за средини за обработка на висока температура и висок притисок што ги доживуваат обландите. Направени од керамички материјали со висока чистота, прецизната обработка и специјализираната површинска обработка обезбедуваат стабилни перформанси на држење во вакуум и одлична термичка стабилност во тешкиот процес на производство на полупроводници. Нашите вакуумски чаши се теренски докажани од стотици производители на полупроводници, демонстрирајќи одлични перформанси во критичните процеси како што се SiC фотографирање, имплементација на полупроводници. Тие ефикасно ги решаваат проблемите со искривување на обландите и точноста на позиционирањето предизвикани од високата цврстина на материјалот и високите температури на процесот.

Општи информации за производот

Деловни услови за производи

Апликација: Керамичката вакуумска чак за обланда Veteksemicon е изработена од керамички материјали со високи перформанси и прецизно обработена за да се обезбеди ултра рамна површина и одлична термичка стабилност. Обезбедува сигурни решенија за адсорпција на нафора и контрола на температурата за процеси како што се епитаксијален раст, имплантација на јони и фотолитографија, ефикасно подобрувајќи го приносот на процесот и ефикасноста на производството.

Услуги кои можат да се обезбедат: анализа на сценарио за апликација на клиентите, материјали за совпаѓање, решавање технички проблеми.

Профил на компанијата：Veteksemicon има 2 лаборатории, тим од експерти со 20-годишно материјално искуство, со можности за истражување и развој и производство, тестирање и верификација.

Мојот ривал керамички вакуум чак за предности на јадрото на нафора

 ● Пробив на науката за материјалите

Мојот ривал користи уникатна формулација на материјал и процес на синтерување за значително подобрување на механичката сила и топлинската стабилност на своите производи, додека ги одржува одличните изолациски својства на керамичките материјали. Нашата керамика базирана на алумина користи суровини со висока чистота и специјална формулација за адитиви, обезбедувајќи одлична димензионална стабилност дури и во средини со висока температура. Нашата керамика базирана на силициум карбид, преку оптимизиран процес на синтерување, постигнува поголема топлинска спроводливост и подобрено термичко усогласување, што ги прави особено прилагодени за обработка на нафора со SiC на висока температура.

 ● Одлични перформанси за управување со топлинска енергија

Нашиот уникатен повеќеслоен дизајн и прецизна обработка обезбедуваат чак да одржува одлична топлинска униформност дури и при работни услови на висока температура. Силикон карбид чак може да се пофали со топлинска спроводливост што надминува 200W/m·K, овозможувајќи брзо балансирање на температурата и одржување на варијации на температурата на површината на обландата во рамките на ±0,8°C. Оваа супериорна способност за управување со топлинска енергија ефикасно ги избегнува дефектите на процесот предизвикани од температурните варијации и значително го подобрува приносот на производот.

● Ултра-прецизна технологија за обработка

Мојот ривал може да се пофали со водечки прецизни центри за обработка во Кина, кои користат уникатни процеси на мелење и полирање за да се постигне подмикронска плошност на површината. Нашите силициум карбид чаши постигнуваат плошност на површината во рок од 0,8μm, со вредност Ra на грубоста на површината не поголема од 0,1μm. Овој ултра-прецизен квалитет на површината обезбедува совршено вклопување помеѓу обландата и чак, обезбедувајќи сигурна рамна референца за прецизни процеси како што е фотолитографијата.

● Подобрен работен век

Преку оптимизирани формулации на материјали и засилен структурен дизајн, нашите производи имаат работен век кој надминува 40% во споредба со традиционалните производи. Специјалните технологии за зајакнување на рабовите и обложување на површината им овозможуваат на нашите производи да издржат чести операции на стегање и чистење. Производите базирани на алумина се гарантира да работат над 200.000 пати, додека производите базирани на силициум карбид може да достигнат над 500.000 циклуси, што значително ги намалува оперативните трошоци за нашите клиенти.

● Одобрување за верификација на еколошки синџир

Мојот ривал керамичката вакуумска чак за верификација на еколошки синџир на нафора ги покрива суровините до производство, има положено сертификација на меѓународни стандарди и има голем број патентирани технологии за да се обезбеди неговата доверливост и одржливост во полињата на полупроводниците и новите енергетски полиња.

За детални технички спецификации, бели документи или аранжмани за тестирање примероци, ве молимеконтактирајте со нашиот тим за техничка поддршкада истражите како Veteksemicon може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.