Цврст прстен за фокусирање на SiC

6.Главни полиња за апликација

7. Veteksemi солидна SiC фокус прстен основни предности

Одлична отпорност на корозија на плазмата

При продолжена изложеност на високо корозивни плазми со висока густина како што се CF4, O2 и Cl2, конвенционалните материјали се подложни на брзо абење и контаминација со честички. Нашиот цврст прстен за фокусирање на SiC покажува одлична отпорност на корозија, со стапка на корозија далеку пониска од онаа на материјали како кварц или алумина. Ова значи дека одржува мазна површина со текот на времето, значително намалувајќи го ризикот од дефекти на обландата предизвикани од абење и кинење на компонентите, обезбедувајќи континуирано и стабилно масовно производство.

Одлична стабилност на високи температури и перформанси на термичко управување

Процесот на офорт со полупроводници генерира значителна топлина, предизвикувајќи компонентите на комората да доживеат драматични температурни флуктуации. Нашите фокусни прстени имаат екстремно низок коефициент на термичка експанзија, способен да издржи минливи температури до 1600°C без пукање или деформација. Понатаму, нивната вродена висока топлинска спроводливост помага да се распрсне топлината рамномерно и брзо, ефикасно подобрувајќи ја дистрибуцијата на температурата на работ на обландата, а со тоа ја подобруваng офорт униформност и конзистентност на критичните димензии низ целата обланда.

Извонредна чистота на материјалот и структурна густина

Ние строго ја контролираме чистотата на суровините од силициум карбид (≥99,999%) и ја елиминираме металната контаминација за време на процесот на синтерување за да ги исполниме строгите барања на напредните производни процеси за контрола на нечистотијата во трагови. Густата структура формирана со синтерување со висока температура има екстремно ниска порозност, речиси целосно блокирајќи ја пенетрацијата на процесните гасови и нуспроизводи. Ова го спречува деградирањето на перформансите и растот на честичките предизвикани од внатрешната деградација на материјалот, обезбедувајќи чиста средина на процесната комора.

Долготраен механички век и сеопфатна исплатливост

Во споредба со конвенционалните потрошни материјали за кои е потребна честа замена, прстените со цврсти SiC фокусирани Veteksemi нудат исклучителна издржливост. Тие одржуваат стабилни перформанси во текот на нивниот работен век, продолжувајќи ги циклусите на замена неколку пати. Ова не само што директно ги намалува трошоците за набавка на резервни делови, туку и значително го подобрува искористувањето на машината со намалување на времето на прекин на опремата за одржување, што резултира со значителни вкупни предности на трошоците за клиентите.

Прецизна контрола на големината и флексибилни услуги за прилагодување

Ги разбираме прецизните барања на различни машини и процеси за потрошен материјал. Секој фокусен прстен е подложен на прецизна обработка и ригорозни тестирања за да се обезбедат критични димензионални толеранции во рамките на ± 0,05 mm. Ние исто така нудиме приспособени услуги, вклучувајќи прилагодени големини, завршна обработка на површини (полирање до Ra ≤ 0,2μm) и прилагодувања на спроводливоста за совршено да одговараат на вашите специфични барања за процесот и сценарија за примена.

За детални технички спецификации, бели документи или аранжмани за тестирање примероци, ве молиме контактирајте го нашиот тим за техничка поддршка за да истражите како Veteksemi може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.