CVD SIC за греење елемент

Елементот за греење на облогата CVD SIC главно се користи во PVD (физичко таложење на пареа) опрема. Во процесот на испарување, материјалот се загрева за да се постигне испарување или плукање, и конечно се формира униформа тенок филм на подлогата.

Ⅰ.Специфична апликација

Таложење на тенок филм: Елементот за греење на обложување CVD SIC се користи во извор на испарување или извор на плукање. Со загревање, елементот го загрева материјалот што треба да се депонира на висока температура, така што неговите атоми или молекули се одвоени од површината на материјалот, а со тоа формираат пареа или плазма. Нашата SIC облога заснована на елементите за греење, исто така, може директно да загрее некои метални или керамички материјали за да ги испари или сублимира во вакуумско опкружување за употреба како извор на материјал во процесот на PVD. Бидејќи структурата има концентрични жлебови, може подобро да ја контролира тековната патека и дистрибуцијата на топлина за да се обезбеди униформност на греењето.

Шематски дијаграм на процесот на испарување PVD

Ⅱ.Работен принцип

Отпорно греење, кога струјата поминува низ патеката на отпорност на SIC обложениот грејач, се создава ouул топлина, а со тоа се постигнува ефектот на загревање. Концентричната структура дозволува струјата да се дистрибуира рамномерно. Уредот за контрола на температурата обично е поврзан со елементот за да ја следи и прилагоди температурата.

Ⅲ.Материјален и структурен дизајн

Елементот за греење на облогата CVD SIC е изработен од графит со висока чистота и SIC облога за да се справи со висока температурна околина. Самиот графит со висока чистота е широко користен како материјал за термичко поле. Откако се применува слој на обложување на графитната површина со методот CVD, неговата стабилност на висока температура, отпорност на корозија, термичка ефикасност и други карактеристики се дополнително подобрени.

Дизајнот на концентрични жлебови му овозможува на струјата да формира униформа јамка на површината на дискот. Постигнува униформа дистрибуција на топлина, избегнува локално прегревање предизвикано од концентрација во одредени области, го намалува дополнителното губење на топлината предизвикана од концентрацијата на тековната и со тоа ја подобрува ефикасноста на греењето.

Елементот за греење на облогата CVD SIC се состои од две нозе и тело. Секоја нога има нишка што се поврзува со напојувањето. Полупроводникот на Ветек може да направи делови од едно парче или делови, односно нозете и телото се прават одделно, а потоа се склопуваат. Без оглед какви барања ги имате за CVD SIC обложен грејач, ве молиме консултирајте се со нас. Ветексеми може да ги обезбеди потребните производи.

Основни физички својства на CVD SIC облогата ：