Грејач за керамички облога со силикон карбид

Тоа полупроводникГрејачот на керамички облога на силиконски карбид е грејач дизајниран за висока температура и груби околини. Заврати слој на силиконски јаглероден керамички слој (SIC) на површината на грејниот елемент за да и даде на опремата одлична отпорност на топлина, отпорност на корозија и топлинска спроводливост. 

Грејач за керамички облога со силикон карбидглавно се користи во вакуумска облога (испарување) опрема. Најчесто користените методи се PCD (плазма хемиско сушење) и PVD (физичко таложење на пареа), кои се користат во производство на полупроводници и други индустриски апликации со голема побарувачка.

Во комбинација со дизајнот на облогата со високи перформанси на грејачот на керамички облога на силикон карбид,Може да обезбеди одлично решение за греење за процеси на висока температура.

Одлична термичка спроводливост: SIC материјалот има одлична термичка спроводливост, осигурувајќи дека грејачот може да постигне униформа дистрибуција на топлина во работната површина и да ги намали градиентите на температурата.

Обезбедете униформа дистрибуција на топлина: Грејачот на керамички облога на силиконски карбид ја користи високата термичка спроводливост на SIC материјалот за да се постигне униформа дистрибуција на температурата низ целата област на греење. Ова е клучно за да се обезбеди униформа термичка обработка на полупроводнички нафори во различни процеси на висока температура, како што се брза термичка обработка (РТП), дифузија и оксидација, избегнување на дефекти на производот предизвикани од локално прегревање или нерамна температура.

Толеранција на висока температура: SIC облогата му овозможува на грејачот да издржи екстремно високи температури, обично до 1600 ° C, погоден за разни процеси на обработка на висока температура.

Подобрување на отпорот на топлина: Бидејќи облогата може да издржи екстремно високи температури, таа добро се одвива во процеси за кои е потребна долгорочна работа со висока температура. На пример, во процесите на таложење на хемиска пареа (CVD), грејачот на керамички облога на силиконски карбид може да обезбеди долгорочно стабилно работење на опремата на високи температури и да одржува конзистентни перформанси на греењето, со што ќе се подобри повторливоста на процесот и сигурноста.

Отпорност на хемиска корозија: SIC облогата има екстремно голема отпорност на киселина, алкални и корозивни гасови и може да остане стабилна долго време во сложена околина на хемиска атмосфера, во кој се протега животот на опремата. 

Проширување на животот на опремата: SIC облогата има одлична отпорност на оксидација и отпорност на корозија и може ефикасно да одолее на хемиската ерозија и оксидација на високи температури. Ова е многу клучно во процесот на производство на полупроводници, особено во околина што се справува со корозивни гасови и хемикалии. Заштитниот ефект на облогата може значително да го продолжи животниот век на грејачот и да ја намали фреквенцијата на трошоците за замена и одржување на опремата.

Основни физички својства на грејачот на керамички слој на силиконски карбид:

Продавници за грејачи на керамички облоги на Ceramic Caramic Caramic Carbide Carbide:

Преглед на синџирот на индустрија за епитакси на полупроводнички чипови на Vetek: