Силиконски карбид керамички обложен графит грејач

Тоа полупроводник Силиконски карбид керамички грејач на графитКомбинира одлична електрична и термичка спроводливост на графит со отпорност на висока температура, отпорност на корозија и отпорност на абење на силиконски јаглероден керамички слој и е дизајниран за груби околини за производство на полупроводници. 

Силиконски карбид керамички грејач на графитглавно се користи во вакуумската облога (испарување) опрема, а методите што најчесто се користат се PCD (хемиско сушење на плазма) и PVD (таложење на физичко пареа). Овој производ одигра важна улога во промовирањето на технолошкиот напредок и подобрувањето на ефикасноста на производството во индустријата за полупроводници.Искрено се радуваме на понатамошна соработка со вас.

Материјалните и структурните карактеристики на силиконскиот карбид керамички обложен графит грејач се како што следува:

Графитска подлога: Графитот е познат по високата термичка спроводливост и нискиот коефициент на термичка експанзија. Може брзо да одговори на температурните промени и да ја одржи структурната стабилност на високи температури.

Керамички слој на силикон јаглерод: SIC облогата е рамномерно обложена на површината на графит преку таложење на хемиска пареа или други напредни процеси. SIC има екстремно висока цврстина и отпорност на хемиска корозија, што може да го заштити графитскиот подлога од оксидација на висока температура и корозивни средини.

Специјалниот структурен дизајн на производот на силиконски карбид керамички облога Графит грејач одредуваНезаменливите предности на производот на овој производ во процесот на обработка на полупроводници:

Ефикасно и униформно греење:

Термичка спроводливост: Високата термичка спроводливост на графит му овозможува на грејачот брзо да ја достигне и одржува потребната температура, а облогата SIC обезбедува униформа дистрибуција на топлина. Ова е особено важно за процесите на полупроводници кои бараат прецизна контрола на температурата, како што се брза термичка обработка (RTP) и таложење на хемиска пареа (CVD).

Температурна униформност: Преку униформа дистрибуција на топлина, силиконскиот карбид керамички обложен графит грејач може ефикасно да го намали термичкиот стрес и градиентот на температурата, обезбедувајќи ја конзистентноста и стабилноста на квалитетот на полупроводничките нафори во текот на целиот процес на греење.

Заштита на антикорозија:

Хемиски отпор: Хемиската отпорност на корозија на SIC облогата му овозможува на грејачот да работи стабилно и долго време во корозивен гас и хемиски средини, избегнувајќи оштетување на графитната подлога. Оваа одлика е особено клучна во процесите како што се таложење на хемиска пареа (CVD) и таложење на хемиска пареа засилена во плазма (PECVD).

Отпорност на оксидација: На високи температури, облогата на SIC може да спречи оксидација на графитниот подлога, да го продолжи услужниот век на грејачот и да ја намали фреквенцијата и цената на одржувањето на опремата.

Намалување на загадување на честички:

Стабилност на површината: SIC облогата не само што е отпорна на абење, туку ги спречува и честичките да паѓаат од материјалната површина како резултат на термички велосипедизам или хемиски реакции, со што се намалува ризикот од загадување на честички што може да се појави за време на производството на полупроводници и да се обезбеди околина за процесирање на високо-чистење.

Подобрете ја сигурноста и ефикасноста на процесот:

Дизајн на долг живот: Поради комбинацијата на механичка јачина на графит и отпорност на абење на SIC обложување, силиконски карбид керамички облога на графит-грејач може да одржува високо-ефикасно работење долго време во услови на суров процес, значително подобрување на целокупната сигурност на опремата.

Ефикасно искористување на енергијата: Високата термичка спроводливост на графитот и стабилноста на висока температура на SIC облогата му овозможуваат на грејачот да ја намали потрошувачката на енергија, додека ја подобрува точноста на контролата на температурата, со што се подобрува целокупната ефикасност на производството на полупроводници.

Основни физички својства наСиликонски карбид керамички грејач на графит:

Тоа полупроводникСиликонски карбид керамички грејач на графитПродавници:

Преглед на синџирот на индустрија за епитакси на полупроводнички чипови:

/друг процес