Силиконски карбид нафора Чак

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Waffide Chuck ги користи одличните својства на силиконските карбидни материјали за да ги исполни строгите барања за производство на полупроводници, особено во обработката на полупроводници за кои е потребна екстремно висока прецизност и сигурност.

Во процесот на обработка на полупроводници,Силикон карбидима одлична отпорност на висока температура (може да работи стабилно до 1400 ° C), мала спроводливост (SIC има релативно мала спроводливост, обично 10^^-3S/m) и низок коефициент на термичка експанзија (околу 4,0 × 10^^-6/° C), што е неопходен и важен материјал, особено погоден за производство на силиконски карбид нафора Чак.

За време наЕпитаксичен процес на раст, тенок слој на полупроводнички материјал се депонира на подлогата, што бара апсолутна стабилност од нафтата за да се обезбедат униформни и висококвалитетни слоеви на таложење на филмови. Sic Vacuum Chuck го постигнува ова со создавање цврсто, конзистентно вакуумско држење за да се спречи какво било движење или деформација на нафтата.

Силиконскиот карбид нафора Чак исто така нуди одличен отпор на термички шок. Брзите промени во температурата се вообичаени во производството на полупроводници и материјалите што не можат да ги издржат овие флуктуации може да попуштат, да се наведнуваат или да не успеат. Силиконскиот карбид има низок коефициент на термичка експанзија и може да ја задржи својата форма и функција дури и под драстични температурни промени, осигурувајќи дека нафтата останува безбедна за време на процесот на епитаксијата без движење или погрешно поставување.

Покрај тоа,Епитаксиски процесчесто вклучува реактивни гасови и други корозивни хемикалии. Хемиската инертност на SIC Wafer Chuck гарантира дека не е засегната од овие груби околини, одржување на своите перформанси и го продолжува својот животен век. Оваа хемиска издржливост не само што ја намалува фреквенцијата на замена на нафта Чак, туку обезбедува и постојани перформанси на производот во текот на повеќе циклуси на производство, помагајќи во подобрување на целокупната ефикасност и економичноста на процесот на производство на полупроводници.

Vetek Semiconductor е водечки производител и снабдувач на производи од силиконски карбид нафора Чак во Кина. Можеме да обезбедиме разни видови на производи од чак, како што сеПорозна сик керамичка чак, Порозен вакуум чак, Порозен керамички вакуум чакиTAC обложена чакитн. Полупроводник на Ветек е посветен на обезбедување на напредна технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници. Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.

SEM податоци за CVDСтруктура на кристална филмска филмска：

Витек Полупроводник Силиконски карбид нафора Чак Продавници：