Поддржувач на ЕПИ

VETEK Semiconductor е професионален лидер Кина Епи преземено, ALD Planetary Tugor и TAC обложени графитни производи за поддршка на графит. и Нашата поддршка на ЕПИ е важна компонента наЕпитаксичен растВо процесот на производство на полупроводници. Неговата главна функција е да го поддржува и загрева нафтата, така што висококвалитетниот епитаксијален слој може униформно да се одгледува на површината на нафтата.

Епи-подложни на полупроводници на Vetek полупроводници обично се изработени од графит со висока чистота и обложени со слој на силиконски карбид (SIC).Овој дизајн ги има следниве клучни предности:

● Стабилност на висока температура: Подзоторот на ЕПИ може да остане стабилен во висока температурна околина, обезбедувајќи униформа раст на епитаксијалниот слој.

● Отпорност на корозија: SIC облогата има одлична отпорност на корозија и може да одолее на ерозијата на хемиски гасови, продолжувајќи го услужниот век на послужавникот.

● Термичка спроводливост: Високата термичка спроводливост на SIC материјалот обезбедува униформа дистрибуција на температурата на нафтата за време на загревањето, а со тоа да се подобри квалитетот на епитаксијалниот слој.

● Совпаѓање на коефициентот на термичка експанзија: Коефициентот на термичка експанзија на SIC е сличен на оној на графит, избегнувајќи го проблемот со обложување на пролевање заради термичка експанзија и контракција.

Основни физички својства наCVD SIC облога:

Продавница за производство на обложување CVD SIC:

Преглед на синџирот на индустрија за епитакси на полупроводнички чипови: