Графитен брод за PECVD

Апликација: Veteksemicon графитниот брод за PECVD е основна компонента во процесот на хемиско таложење на пареа зајакнат со плазма. Дизајниран е специјално за таложење на висококвалитетен силициум нитрид, силициум оксид и други тенки фолии на силиконски наполитанки, сложени полупроводници и подлоги на панели за прикажување. Неговата изведба директно ја одредува униформноста на филмот, стабилноста на процесот и трошоците за производство.

Услуги кои можат да се обезбедат: анализа на сценарио за апликација на клиентите, материјали за совпаѓање, решавање технички проблеми.

Профил на компанијата：Veteksemicon има 2 лаборатории, тим од експерти со 20-годишно материјално искуство, со можности за истражување и развој и производство, тестирање и верификација.

Општи информации за производот

Деловни услови за производи

Главни полиња за апликација

Мојот ривал Графитен брод за основни предности на PECVD

1. Подлоги со висока чистота, кои го контролираат загадувањето од изворот

Инсистираме на користење на изостатски пресуван графит со висока чистота со стабилна чистота од над 99,995% како основен материјал за да се осигураме дека нема да таложи метални нечистотии дури и во континуирано опкружување на работа од 1600°C. Ова строго барање за материјал може директно да избегне деградација на перформансите на обландата предизвикана од контаминација на носачот, обезбедувајќи најфундаментална гаранција за таложење висококвалитетни фолии од силициум нитрид или силициум оксид.

2. Прецизно термичко поле и структурен дизајн за да се обезбеди униформност на процесот

Преку обемна симулација на течности и податоци за мерење на процесот, го оптимизиравме аголот на отворот на бродот, длабочината на жлебот на водичот и патеката на протокот на гас. Ова прецизно структурно разгледување овозможува рамномерна дистрибуција на реактивни гасови помеѓу обландите. Вистинските мерења покажуваат дека при целосно оптоварување, отстапувањето на униформноста на дебелината на филмот помеѓу обландите во истата серија може стабилно да се контролира во рамките на ±1,5%, што значително го подобрува приносот на производот.

3. Прилагодени решенија за обложување за решавање на специфична процесна корозија

За да се исполнат различните средини на процесен гас на различни клиенти, нудиме две зрели опции за обложување: пиролитички јаглерод и силициум карбид. Ако главно депонирате силициум нитрид и користите чистење со водород, густата пиролитичка јаглеродна обвивка може да обезбеди одлична отпорност на ерозија на водородната плазма. Ако вашиот процес вклучува гасови за чистење кои содржат флуор, тогаш подобар избор е облогата со силициум карбид со висока цврстина. Може да го продолжи работниот век на графитниот чамец во високо корозивни средини до повеќе од три пати од обичните необложени производи.

4. Одлична стабилност на термички шок, прилагодлива на чести температурни циклуси

Благодарение на нашата уникатна формула за графит и внатрешен дизајн на ребра за зајакнување, нашите графитни чамци можат да ги издржат повторените брзи шокови за ладење и загревање на процесот PECVD. Во ригорозните лабораториски тестови, по 500 брзи термички циклуси од собна температура до 800°C, стапката на задржување на јакоста на виткање на бродот сè уште надминува 90%, ефикасно избегнувајќи пукање предизвикано од термички стрес и обезбедувајќи континуитет и безбедност на производството.

5. Одобрување за верификација на еколошки синџир

Мојот ривал Графитен брод за верификација на еколошкиот синџир PECVD ги покрива суровините до производство, има положено сертификација за меѓународни стандарди и има голем број патентирани технологии за да се обезбеди неговата доверливост и одржливост во полињата на полупроводниците и новите енергетски полиња.

За детални технички спецификации, бели документи или аранжмани за тестирање примероци, ве молиме контактирајте го нашиот тим за техничка поддршка за да истражите како Veteksemicon може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.